化学传感器精选.ppt

2002/12总结 第11章 化学传感器 气体的成份与浓度 离子或电解质浓度 空气湿度 当半导体气敏传感器在洁净的空气中开始通电加热时，其阻值急剧下降，阻值发生变化的时间(称响应时间)不到1min，然后上升，经2min～10min后达到稳定，这段时间为初始稳定时间，元件只有在达到初始稳定状态后才可用于气体检测。 当电阻值处于稳定值后，会随被测气体的吸附情况而发生变化，其电阻的变化规律视气体的性质而定： 被测气体是氧化性气体(如O2和NOx)，被吸附气体分子从气敏元件得到电子，使N型半导体中载流子电子减少，因而电阻值增大。 被测气体为还原性气体(如H2、CO、酒精等)，气体分子向气敏元件释放电子，使N型半导体中载流子电子增多，因而电阻值下降。 制造半导体陶瓷湿敏电阻的材料，主要是不同类型的金属氧化物。有些半导体陶瓷材料的电阻率随湿度增加而下降，称为负特性湿敏半导体陶瓷，还有一类半导体陶瓷材料的电阻率随湿度增大而增大，称为正特性湿敏半导体陶瓷。 本章要点 响应时间 指在一定环境温度下，当被测相对湿度发生跃变时，湿敏传感器的感湿特征量达到稳定变化量的规定比例所需的时间。一般以相应的起始湿度到终止湿度这一变化区间的90%的相对湿度变化所需的时间来进行计算。 感湿温度系数 当被测环境湿度恒定不变时，温度每变化1℃，引起湿敏传感器感湿特征量的变化量，就称为感湿温度系数。 老化特性 老化特性是指湿敏传感器在一定温度、湿度环境下存放一定时间后，其感湿特性将会发生改变的特性。 下页 上页 返回 湿敏传感器的分类 界限电流式湿敏传感器 湿敏传感器 电阻式 电容式 其它 电解质式 陶瓷式 高分子式 陶瓷式 高分子式 光纤湿敏传感器 二极管式、石英振子、SAW式、微波式、热导式等 下页 上页 返回 11.2.2 常用湿敏传感器的基本原理 电阻式湿敏传感器 电容式湿敏传感器 下页 上页 返回 电阻式湿敏传感器 电阻式湿敏传感器是利用器件电阻值随湿度变化的基本原理来进行工作的，其感湿特征量为电阻值。 根据使用感湿材料的不同，电阻式湿敏传感器可分为： 电解质式 陶瓷式 高分子式 下页 上页 返回 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。 它由引线、基片、感湿层与电极组成。 环境相对湿度高，LiCl溶液吸收水分，浓度降低，电阻率增加；环境相对湿度低，LiCl溶液浓度增加，电阻率下降，从而实现对湿度的测量。 电解质式（氯化锂）电阻湿敏传感器 下页 上页 返回 LiCl湿敏电阻结构示意图 下页 上页 返回 氯化锂湿度—电阻特性曲线 下页 上页 返回 氯化锂湿敏元件的优点：滞后小，不受测试环境风速影响，检测精度可达±５%。 缺点：耐热性差，不能用于露点以下测量，器件性能重复性不理想，使用寿命短。 下页 上页 返回 陶瓷式电阻湿敏传感器 下页 上页 返回 陶瓷式电阻湿敏传感器是一种电阻型的传感器，根据微粒堆集体或多孔状陶瓷体的感湿材料吸附水分可使电导率改变这一原理检测湿度。 由于具有使用寿命长，可在恶劣条件下工作，响应时间短，测量精度高，测温范围宽(常温湿敏传感器的工作温度在150℃以下，高温湿敏传感器的工作温度可达800℃)，工艺简单，成本低廉等优点，所以是目前应用较为广泛的湿敏传感器。 负特性陶瓷式湿敏传感器 Fe3O4半导瓷的正湿敏特性 特性 下页 上页 返回 半导体陶瓷材料的导电机理分类 下页 上页 返回 陶瓷式电阻湿敏传感器的特点 传感器表面与水蒸气的接触面积大，易于水蒸气的吸收； 陶瓷烧结体能耐高温，物理、化学性质稳定，适合采用加热去污的方法恢复材料的湿敏特性； 可以通过调整烧结体表面晶粒、晶粒界和细微气孔的构造，改善传感器湿敏特性。 下页 上页 返回 高分子式电阻湿敏传感器 利用高分子电解质吸湿而导致电阻率发生变化的原理进行测量。 当水吸附在强极性基高分子上时，随着湿度的增加吸附量增大，吸附水之间凝聚呈液态水状态。 在低湿吸附量少的情况下，由于没有荷电离子产生，电阻值很高； 当相对湿度增加时，凝聚化的吸附水就成为导电通道，高分子电解质的成对离子主要起载流子作用。此外，由吸附水自身离解出来的质子（H+）及水和氢离子（H3O+）也起电荷载流子作用，这就使得载流子数目急剧增加，传感器的电阻急剧下降。 下页 上页 返回 利用高分子电解质在不同湿度条件下电离产生的导电离子数量不等使阻值发生变化，就可以测定环境中的湿度。 高分子式电阻湿敏传感器测量湿度范围大，工作温度在0～50℃，响应时间短（＜30s），可作为湿度检测和控制用。 下页 上页