《PV电池生产工艺.pptVIP

单晶硅光伏电池生产工艺简介 单晶硅电池制作的过程 多晶的生产 单晶硅制作 方片制作 电池片制作 电池组件封装 应用 多晶硅的生产流程(西门子法) 石英砂在电炉中用碳还原(95-99%) SiO2+3C=SiC+2CO, 2SiC+SiO2=3Si+2CO 三氯氢硅的合成 Si+3HCl= H2 + SiH2Cl2 三氯氢硅的提纯 用分镏法去除SiH2Cl2, SiCl4, 杂质氯化物 用氢还原三氯氢硅 SiHCl3 +H2=Si+3HCl 单晶硅的生产 方片的加工 线切割加工工艺 电池片制作流程 电池片结构示意 预清洗工艺原理 利用清洗槽清洗硅片表面 去除表面油渍，沾污，金属污染 清洗液： NaOH+表面活性剂+纯水 加热，超声波 一次清洗工艺原理 表面织构化减少阳光反射 应用单晶硅各向异性化学腐蚀的方法在(100)表面制作倒金字塔状的绒面结构 表面倒金字塔结构 磷扩散 PN结形成 硅片周边刻蚀 等离子体（Plasma) 气体被加热到几千度以上的高温后, 气体中原子被电离成正离子和电子, 这 种状态的物质称为等离子体。 其显著特征是具有高温、高流动性,高 导电性和高能量性，极易与其它物质 相互作用。 等离子体刻蚀示意 等离子体刻蚀的工作原理 在低压下，反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体，等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的