声表面波传感技术要素.ppt

8.1 概述 8.2 声表面波技术的基础知识 SAW SAW的激发 Concept: IDT 声波可以用质点离开平衡位置的位移来表示，对于压电体，声波的传播还伴随着电场和电势，因此描述声波的变量还要有电势，一共四个量。 2. 声表面波的类型 3. 瑞利波特点 4. SAW技术应用与器件 5. SAW器件材料 Materials 结构型式 SAW传感器信号检测 SAW传感器信号检测 SAW传感器信号检测 SAW传感器的温度补偿 SAW传感器特点 8.5 声表面波传感器的应用 Vibration and Acceleration SAW Sensor Torque SAW Sensor Flow SAW Sensor SAW Gyroscope Liquid SAW Sensor Gas SAW Sensor Application Examples of SAW technology in Automobile electronic ID Smart Tire Exhaust-gas detection Electronic ID Smart Tire 参考资料 图7-12 正交相位检波原理 一 选择零温度系数切型 二 差动法 三 数字补偿法 四 浮动零点法 １）高精度，高灵敏度； ２）准数字输出 ； ３）微型化，低功耗；