溶液-凝胶法制备ZnO薄膜.docVIP

光电技术学院 2010级工程实践研究报告 项目名称： 溶液凝胶法制备ZnO薄膜及其光电性能研究 所在专业： 应用物理10级 导师姓名： 李旭 成员姓名： 杜发洪 杜沫瑶??肖品诚?乔严明 谭勇?邓鹏辉?阳熊 提交日期： 2013年01月 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其光电性能研究 摘 要 制备ZnO薄膜的方法有很多如溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、溶胶一凝胶法等等，然而从实际应用的角度，这些方法大多需要真空设备，成本相对较高。而溶胶一凝胶法则避免了这点，并能在各种基片上制备均匀掺杂的薄膜。本论文研究了在载玻片和si基片上，溶胶一凝胶法工艺条件对薄膜的结晶、 取向状况以及薄膜形貌等的影响，并探讨了溶胶一凝胶法制各ZnO薄膜过程中， 工艺条件对其性能的影响，以此改善工艺条件来优化薄膜结构。还研究了掺A1的ZnO薄膜的结构性能与电阻率、透射率之间的关系。 关键词：引言 ZnO是6mm点群对称的六角晶系纤锌矿晶体。锌原子占据层与氧原子占据层 交替排列“【4】。若是以氧原子(或锌原子)位于整个六角柱大晶胞的各个角顶和底心以及组成六角柱的六个三角柱中相隔的三个三角柱的体中心，形成与六角密堆积相似的配置，而锌原子(或氧原予)可以看成是填塞于半数氧原子(或锌原子)的四面体中心。实际上，每个离子的环境不具有精确的四面体对称性。在六角或C轴方向上最近邻的间距与其它三个方向的相比有点小。晶格常数a=3．249A，c=5．202 A，c／a=1．601。在C轴方向上，近邻的锌离子与氧离子间的距离d=1．96A，其余三个方向上为1．98 A。纤锌矿结构可以看成是由平行于(0001)面的A—B“原子偶层”构成，其有效离子电荷约为卜1．2，这样就产生了一个极性的C轴。 天然氧化锌是纤锌矿单晶。深红色氧化锌晶体含有百分之几的杂质，通常这些杂质是锰和铁。纯氧化锌可通过锌的燃烧或通过煅烧氢氧化锌、碳酸锌、硝酸锌制得。在制备和合成氧化锌晶体上的实质性困难在于氧化锌在常压下不熔化。氧化锌是一种两性氧化物，溶于酸、氢氧化钠和氯化铵溶液，不溶于水或乙醇。高温时呈黄色，冷却后恢复白色，加热至1800℃升华。 纯净的ZnO晶体是无色的，具有较宽的带隙和较高的激子束缚能(约60meV)，吸收边位于紫外区， 4．2K时的禁带约为3．38电子伏特，300K时约为3．4电子伏特“。非化学配比的锌过剩或氧缺位会增加n型电导率。 溶胶一凝胶法制备薄膜的方法 在薄膜制备方面溶胶．凝胶工艺比其它传统工艺有极大的优势，因为s01．gel过程具有的优点：首先采用溶胶．凝胶工艺很容易对所制各的氧化物薄膜进行定量掺杂：其次溶胶．凝胶工艺过程简单，无需任何真空条件和复杂设备；第三采用溶胶．凝胶工艺可以在任意形状的基底上制各薄膜，并且采用溶胶一凝胶工艺制备的薄膜含有众多的分布均匀的微孔，这使得其比表面积大大增加，并且透气性极好。这一点对于制备气敏材料、薄膜催化剂尤为重要。 利用溶胶一凝胶法在基片上沉淀氧化物薄膜的方法有浸涂、旋涂和喷涂等。 （1）浸涂法 浸涂法是将整个清洗干净的基板浸入溶液中，然后以一定速率平稳缓慢的提拉出来。提拉涂覆的工艺应用范围很广，对于大型涂件来说更为经济。通常大型玻璃的尺寸达3-4m，将其浸入溶胶浴中，然后小心的以恒定速率提升，提升操作应保持平稳且无震动，而且应十分缓慢，借以协调溶剂蒸发和凝胶速度，由于重力和粘度的作用在基板表面形成一层均匀的溶胶膜。提升基板时，虽有部分溶胶会沿基板方向流，但垂直方向膜的厚度分布仅与溶胶浓度、表面张力、粘度、环境湿度和温度以及基板的提升速度有关，一般在一次操作时上述这些因素都是固定的，因而凝胶膜的厚度是恒定的。对于一定溶胶可以通过选择合适的提拉速度，较好的控制膜厚。实验证明膜厚与基板的垂直提升速度之间的关系： d 2 Kv…，比例常数K包含所有影响膜厚的其他因素，如溶胶浓度、粘度、表面张力等。研究表明，所有溶液都在浸涂过程末期，垂直基板底边会出现约2mm的厚膜区，这是由于液体存在表面张力，沿基板流下的溶胶有一部分由于表面张力的作用会积存在基板下端区域。对于大型涂件来说。这一无用区可在工艺结束后裁掉。对于小型涂件可用滤纸等吸除基板下端的液滴，也可以在溶胶中添加表面活性剂等成分降低表面张力从而减轻基板下端积液的现象。但无论如何都会造成基板下端区域凝胶膜一定程度上的不平整和不均匀。 （2）旋转涂覆法 旋转涂覆法是在旋转涂覆机上进行的，将基片水平固定于转台，然后将所要涂覆的溶液滴在基片的中央，由旋转运动产生的离心力使溶液由圆心向周边扩展形成均匀的液膜，在一定条件下形成凝胶膜