失效分析总结.doc

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失效分析总结

一, CMOS电路闩锁失效(1) ? 闩锁(latch-up)是指CMOS电路中固有的寄生可控硅结构被触发导通,在电源和地之间形成低阻大电流通路的现象。 ? MOS集成电路使用的主要失效机理 1).典型的闩锁效应电源对地的I-V曲线 二. 金铝化合物失效(键合失效机理)-解释 1). 金和铝键合,在长期贮存和使用后,因化学势不同,它们之间能生成AuAl2,AuAl, Au2Al,Au5Al2,Au4Al等金属间化合物(IMC)。 2). 这几种IMC的晶格常数、膨胀系数、形成过程中体积的变化、颜色和物理性质是不同的,且电导率较低。AuAl2、Au5Al2、Au4Al呈浅金黄色,AuAl2呈紫色,俗称紫斑,Au2Al呈白色,称白斑-。 3). 在键合点处生成了Au-Al间IMC之后,键合强度降低、变脆开裂、接触电阻增大,器件出现性能退化或引线从键合界面处脱落导致开路。 三. 柯肯德尔效应(Kirkendall) 1). 在AuAl键合系统中,若采用Au丝热压焊工艺,由于高温(300℃以上),金向铝中迅速扩散,金的扩散速度大于铝扩散速度,结果出现了在金层一侧留下部分原子空隙,这些原子空隙自发聚积,在金属间化合物与金属交界面上形成了空洞,这称为柯肯德尔效应。 2). 当柯氏效应-空洞增大到一定程度后,将使键合界面强度急剧下降,接触电阻增大,最终导致开路。 四. 其它键合失效模式 五.芯片焊接失效模式 六. 塑封对器件特性的影响 七.各种异常击穿分析

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