第4章电容式传感器-医学传感器讲述.ppt

第四章 电容式传感器 引言 电容式传感器（capacitance sensors）是一种将被测非电量的变化转换为电容变化的器件或装置 优点：结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适应性强、抗过载能力大、易实现非接触测量等等。 缺点：存在寄生电容和泄漏电阻、线性度差等。 应用：可以应用于位移、振动、角度、加速度等参数的测量中。 第一节 基本工作原理、结构及特点 在实际使用时，电容式传感器常以改变平行板间距d来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度高于改变其他参数的电容传感器的灵敏度。 改变平行板间距d的传感器可以测量微米数量级的位移，而改变面积S的传感器只适用于测量厘米数量级的位移。 在式(4-3)中，当 时， ，则上式可简化为： 此时C与Δd呈近似线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性输出。 通过以上讨论，我们可以得到两个结论： 变间距型电容式传感器的非线性与极板间距离成反比，只有在Δd/d很小时，才有近似的线性输出，因此，这种传感器适合用于小范围（微米级）位移测量； 采用减小初始极板距离d可以大幅提高灵敏度，但d的减小，一是将增大非线性，二是会受到电容击穿电压的影响。 为防止击穿或短路，极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质。云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。同时传感器的输出特性的线性度得到改善。 一般变极距型电容式传感器的起始电容在20～ 30 pF之间，极板间距离在25～200μm的范围内，最大位移应小于间距的1/10，故在微位移测量中应用最广。 变面积电容传感器特性： 忽略边缘效益，电容式传感器输出特性是线性的； 增大介电常数、极板变长或减小极板间距都可以提高灵敏度； 虽然极板移动距离不宜太大，但其量程不受线性范围的限制，故测量范围较大，适合于直线位移厘米级和角位移几十度。 下图是一种常用的结构型式。图中两平行电极固定不动，极距为d0，相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介质的极板覆盖面积。 例4-1 置于莫存储罐的电容式液位传感器由半径为20mm和4mm的两个同心圆柱体构成，并与储存罐等高。储存罐也是圆柱形，半径为25cm，高为1.2m，被储存的液体εr=2.1.试计算传感器的最小电容和最大电容以及传感器用在该储存罐内的灵敏度。 第二节 电容式传感器的测量电路 电容式传感器中电容值以及电容变化值都十分微小，这样微小的电容量还不能直接被目前的显示仪表显示，也很难被记录仪接受，不便于传输。 必须借助测量电路检出这一微小电容增量，并将其转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。 电容转换电路有调频电路、运算放大器式电路、二极管双T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等。 测量电路的分类 调幅测量电路 调频测量电路 脉冲调制测量电路 一、 调幅测量电路 1. 交流电桥测量电路 常用的电容式传感器的交流电桥 在电容式传感器使用交流电桥为测量电路时，电桥设计、电桥元件和参数值选择以及桥臂的连接方式等有如下要求： 为了使桥路平衡，在四个桥臂中必须接入两个电容（一个电容传感器和一个固定电容），另外两个桥臂接入其他类阻抗元件。 电容电桥同样有两种对称形式，即Z1=Z2对称和Z1=Z3对称。 对于电容式传感器与电阻构成的电桥，其桥臂系数最大为0.5，此时输出的信号有90°的相移；对于电容式传感器与电感组成的电桥，桥臂比的相角θ =±180°时，桥臂系数达到最大值，且输出相移为零。 2. 运算放大器测量电路 运算放大器的放大倍数K非常大，而且输入阻抗Zi很高。运算放大器的特点可以使其作为电容式传感器的比较理想的测量电路。下图是运算放大器式电路原理图。 二、调频测量电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。 虽然可将频率作为测量系统的输出量，用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正，因此加入鉴频器，用此鉴频器可调整地非线性特性去补偿其他部分的非线性，并将频率的变化转换为振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。 调频测量电路原理框图如下图 所示，Cx为电容变换器。 三、脉冲调制测量电路 1. 二极管T型网络 第三节 电容式传感器的误差分析 一、等效电路 上节对各种电容传感器的特性分析，都是在纯电容的条件下进行的。这在可忽略传感器附加损耗的一般情况下也是可行的。若考虑电容传感器在高温、高湿及高频激励的条件下工作而不可忽视其附加损耗和电效应影响时，其等效电路如下图所示。