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材料X射线衍射与电子显微学 透射电子显微镜 COLLEGE OF MATERIAL SCIENCE AND ENGINEERING CHONGQING UNIVERSITY College of MSE, CQU 第八章 透射电子显微分析 College of MSE, CQU 本章主要内容 8.1 透射电镜的结构及其成像原理 8.2 透射电镜的成像原理 College of MSE, CQU 8.1 透射电镜的结构 JEM-2010F透射电镜 College of MSE, CQU 光源 中间象 物镜 试样 聚光镜 目镜 毛玻璃 电子镜 聚光镜 试样 物镜 中间象 投影镜 观察屏 光学显微镜和电镜光路图比较 College of MSE, CQU 电子光学系统 从结构上看，透射电镜和光学透镜非常类似，根据其功能的不同可分为以下几部分： 1）照明部分 （1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。 （2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 （3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。 电镜一般是电子光学系统、真空系统和供电系统三大部分组成。 College of MSE, CQU 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能， 因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”。 （4）聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。 College of MSE, CQU 阴极（接 负高压） 控制极（比阴极 负100~1000伏） 阳极 电子束 聚光镜 试样 照明部分示意图 College of MSE, CQU 2）成像放大部分 这部分有试样室、物镜、中间镜、投影镜等组成。 （1）试样室：位于照明部分和物镜之间，它的主要作用是通过试样台承载试样，移动试样。 （2）物镜：电镜的最关键的部分，其作用是将来自试样不同点同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上，构成含有试样结构信息的散射花样或衍射花样；将来自试样同一点的不同方向的弹性散射束会聚于其象平面上，构成与试样组织相对应的显微像。透射电镜的好坏，很大程度上取决于物镜的好坏。 物镜的最短焦距可达1毫米，放大倍数约为300倍，最佳分辨本领可达1埃，目前，实际的分辨本领为2埃。 College of MSE, CQU 为了减小物镜的球差和提高像的衬度，在物镜极靴进口表面和物镜后焦面上还各放一个光阑，物镜光阑（防止物镜污染）和衬度光阑（提高衬度） 在分析电镜中，使用的皆为双物镜加辅助透镜，试样置于上下物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用，辅助透镜是为了进一步改善场对称性而加入的。 College of MSE, CQU 近代高性能电镜一般都设有两个中间镜，两个投影镜。三级放大成像和极低放大成像示意图如下所示: College of MSE, CQU （a）高放大率 （b）衍射 （c）低放大率 三次像 （荧光屏） 物 物镜 衍射谱 一次像 中间镜 二次像 投影镜 选区光阑 College of MSE, CQU （3）中间镜： 中间镜是一个弱透镜，其焦距很长，放大倍数可通过调节励磁电流来改变。在电镜操作过程中，主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的总放大倍数。另外，可以通过改变中间镜的励磁电流，在电镜的成像模式和衍射模式之间切换。 为了得到清晰的放大像，可以通过改变中间镜的励磁电流，使中间镜的物平面正好和物镜的像平面重合（成像模式）。 另外，可以改变中间镜的励磁电流，使其物平面和物镜的后焦面重合，这时可以在荧光屏上得到电子衍射花样，这就是所谓电子显微镜中的电子衍射操作（衍射模式）。 在中间镜的上方，物镜的像平面位置上通常加入一个中间镜光阑，这个光阑孔的直径是分档可变的，习惯上称之为选区光阑。其作用是只让通过光阑孔的一次像所对应的样品区域提供衍射花样，从而实现选区电子衍射操作。 College of MSE, CQU （4）投影镜： 投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（或电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上，它和物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。 College of MSE, CQU 3）显像部分 这部分由观察室和照相机构组成。在分析电镜中，还有探测器和电子能量分析附件。如下图所示。 电子