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印刷碳纳米管薄膜晶体管的研究侯露辉（天津大学 电子信息学院，天津 300072）摘要：我们回顾了单壁碳纳米管的生产、提纯技术与单壁碳纳米管薄膜晶体管（SWCNT-TFTs）的制作与特性的现状。制作单壁碳纳米管最流行的方发是化学气相沉积法（CVD），它包括等离子增强化学气相沉积法（PECVD）、浮动催化化学气相沉积（FCCVD）于热化学气相沉积法（thermal CVD）。分离用于制作薄膜晶体管的碳纳米管（CNTS）的方法有电击穿法、密度梯度超速离心法与基于凝胶分离的方法。同时，我们也回顾了用碳纳米管随机网络作为单壁碳纳米管薄膜晶体管的导电沟道的技术，叙述分析了全球研究人员的出色工作，叙述了单壁碳纳米管薄膜晶体管的独特的性质。另外，我们还探究了单壁碳纳米管薄膜晶体管未来可能的应用。最后，我们总结了关于碳纳米管薄膜晶体管未来需要解决的几个重要问题。关键词：单壁碳纳米管薄膜晶体管，提纯技术，碳纳米管随机网络，ABSTRACT: We review the present status of single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) for their production and purification technologies, aswell as the fabrication and properties of single-walled carbon nanotube thin film transistors (SWCNT-TFTs). The most popular SWCNT growth method is chemical vapor deposition (CVD), including plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), floating catalyst chemical vapor deposition (FCCVD), and thermal CVD. Carbon nanotubes (CNTs) used to fabricate thin filmtransistors are sorted by electrical breakdown, density gradient ultracentrifugation, or gel-based separation. The technologiesof applying CNT random networks to work as the channels of SWCNT-TFTs are also reviewed. Excellent work from globalresearchers has been benchmarked and analyzed. The unique properties of SWCNT-TFTs have been reviewed. Besides, thepromising applications of SWCNT-TFTs have been explored. Finally, the key issues to be solved in future have been summarized.Key word：single-walled carbon nanotubes，purification technologies，CNT random networks引言我们可以认为碳纳米管（CNT）是单层的石墨卷成圆筒状所形成的，最近几年人们从多个反面研究了它。研究人员已经证实碳纳米管有着独特的性质，例如高电流密度（超过）、出色的热导率（约6600W/mK）、弹道输运、高机械弹性（杨氏模量高达1.2TPa）和高光透明度（超过90%）。由于这些显著的性质，人们期望把CNTS,特别是单壁纳米管，用作连线或者互连材料，或者用作场效应晶体管的沟道替代材料。它还是超级规模集成电路的候选材料。碳基纳米电子学一直被认为是在未来五年内最有前途的以商业演示为目标的新兴设备技术。薄膜晶体管（TFTs）被广泛地用于平板显示，柔性电子和传感应用方面。最常见的薄膜晶体管是用非晶硅（）或者多晶硅作为晶体管的导电沟道。非晶硅薄膜晶体管能满足大面积和由低到中等显示速度的要求，一致性与稳定性特别好。多晶硅薄膜晶体管一个优点是迁移率很高。然而这两种晶体管都有自己的局限，以至于它们没有一个被广泛地应用与更加先进的显示器中。非晶硅对光特别敏感，并且器件的载流子迁移率低于2 /V?s，所以它不能满足帧速率高达120Hz甚至更高的高速显示器的要求。尽管多晶硅薄膜晶体管的迁移率足够高，但是它缺乏弹性和透明度，这对柔性器件来说是致命的。金属氧化物