（精）俄歇能谱分析.pptVIP

1.7 俄歇电子能谱分析（AES） 1.7.1 基本原理 Mg的KLL系列俄歇电子能谱 (4)影响俄歇电子能量的主要因素 1.7.2 AES分析结果的形式 小 结 电子显微分析——利用聚焦电子束与物质相互作用产生 的各种信号对试样进行微区形貌、成 分和结构分析。 1.??基本概念 分辨率、电子透镜、场深、焦深、各种信号和衬度等等。 2.??基本结构和原理 透射电镜的基本结构和成像原理（与光学成像相似） 透射电镜中的电子衍射原理及成像方式（阿贝成像原理和单束、多束成像） 扫描电镜的基本结构和成像原理、以及主要图像（SE和BSE）衬度的形成机制 X射线显微分析原理（莫塞莱定律） 3.??电显测试方法的主要功能与特点 TEM：形貌观察和晶体结构分析；分辨率高，晶体结构分析快速、直观，等等； SEM：形貌观察和微区成分分析（带能谱仪）；综合分析方便，试样制备简单等； EPMA：微区成分定性定量分析； AEM：综合TEM和SEM的所有功能，且具有更高的分辨率。 AES：表面成分