(精)2009材料分析测试技术课件第十一章.pptVIP

第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析 §11-1 概 述 11-2 薄膜样品的制备 11-3 衍衬成像原理 §11-5 衍衬运动学简介 * * 11-1 概 述 11-2 薄膜样品的制备 11-3 衍衬成像原理 11-4 消光距离 11-5 衍衬运动学简介 利用复型技术虽然可能使电子显微镜的分辨率达到几个纳米左右(比光学显微镜的分辨率提高约两个数量级)，但是由于复型材料本身的颗粒有一定的大小，因此不可能把比它自己还要小的细微结构复制出来，从而限制了分辨率的进一步提高。此外，复型只能对样品的表面形貌进行复制，并不能对样品的内部组织结构(例如晶体缺陷、界面等)进行观察分析，因此，复型技术在应用方面还有着很大的局限性。 利用材料薄膜样品在透射电镜下直接观察分析，不仅能清晰地显示样品内部的精细结构，而且还能使电镜的分辨率大大提高。此外，结合薄膜样品的电子衍射分析，还可以得到许多晶体学信息。 90年代生产的透射式电子显微镜，用于观察晶体薄膜样品，晶格分辨率已达0.1 nm左右，点分辨率为0.14nm左右。迄今为止，只有利用薄膜透射技术，方能在同一台仪器上同时对材料的微观组织进行同位分析。 第十章中我们已了解了电子衍射的基本内容，在此基础上本章主要讨论衍射衬度成像的原理，并利用这个原理来解释衍射图像。如果我们掌握了这两方面的内容，