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自我简介 闫树斌:山西交城人; 1995-1999 山西大学光电子技术专业取得理学学士学位;2001-2006 量子光学与光量子器件国家重点实验室取得理 学博士学位; 2007-2009 清华大学精密仪器与机械博士后出站 主要从事光学与MEMS学科交叉研究 本课程讲解次数:1次; 教材与参考书 推荐教材 电子工业出版社《半导体物理与器件》作者Donald A.Neamen 参考书:刘恩科 《半导体物理学》,西安交通大学出版社,2003 顾祖毅等《半导体物理学》, 电子工业出版社,1995 《半导体器件 物理与工艺》(美)施敏(S.M.Sze)著 王阳元等译 学时分配 本课程的讲授内容 第一章 固体的晶体结构(2学时) 第三章 固体量子理论初步 (6学时) 第四章 平衡状态下的半导体(7学时) 第五章 载流子输运与过剩载流子现象(7学时) 第六章 半导体中的非平衡过剩载流子 (8学时) 第七章 PN结 (4学时) 第八章 pn结二极管 (6学时) 第九章 金属半导体和半导体异质结 (4学时) 第十章 双极晶体管(10学时) 第十一章 金属/氧化物/半导体场效应晶体管基础(10学时) 第十二章 小尺寸MOS器件物理(4学时) 总计:72学时 本课程的目标 通过本课程的学习,学生将全面了解电子科学与技术与微电子学专业的基础知识与基本技能、应用领域及研究热点、学科方向与发展趋势等内容,为学生进入相关研究领域或相关的交叉学科,打下一个初步的基础。 考核与记分方式平时成绩占20%,期末考试占80%。考试采用闭卷形式。 本课程和其它课程的关系 先修课程:《普通物理》《固体物理》《量子力学》《统计物理》,后续课程:《半导体集成电路》《半导体工艺原理与技术》 本课程是专业基础课,是专业课中的基础课,是基础课中的专业课。 课程意义 半导体器件、半导体工艺、半导体异质结、半导体光电理论的基础。 半导体:信息科技的基础支撑。 为什么半导体具有如此重要的意义? 信息处理、计算、存储、传输。 问题:限制文明进步的主要因素是什么? 课程意义 半导体技术在人们生活中的重要作用 本课程的学习使我们在对信息技术迅速发展由衷赞叹的同时,更为清楚地认识并理解到这种发展所依靠的基础和本质因素,并使自身参与这种推动人类文明的发展成为一种可能。 前景如此美好 学习有点枯燥 课程结构 半导体物理与器件讲授那些内容? 什么是半导体物理、半导体器件? 这门课的主要内容 半导体物理 固体的晶格机构 固体量子理论初步 平衡半导体 载流子输运现象 半导体中的非平衡过剩载流子 pn结 金属半导体和半导体异质结 半导体器件 pn结二极管 双极晶体管 金属-氧化物-半导体场效应晶体管基础 小尺寸MOS器件物理 第一章 绪论 ——固体的晶格结构 §1.1 半导体材料 典型半导体及分类 §1.2 固体类型 三种固体形态 §1.3 晶体的空间点阵结构 晶体学基本概念和基本晶格结构 §1.4 晶体中原子之间的价键 离子、原子、金属及分子晶体 §1.5 晶体中的缺陷与杂质 缺陷类型和杂质类型 §1.6 半导体单晶材料的生长 单晶材料及外延生长 §1.7 小结 §1.1 半导体材料 半导体(semiconductor),顾名思义就是指导电性介于导体与绝缘体的物质 半导体的基本定义 Semiconductor,顾名思义就是指导电性介于导体与绝缘体的物质。 电阻率:导体: 10-4 Ω/cm;绝缘体:108Ω/cm 种类:固体;多晶;非晶;无机物;有机物; 特征:电导可调;整流效应;两种导电机制; 力敏;光敏;热敏;磁敏效应 重要半导体:硅、锗、GaAs、InP、GaN、SiC 分类: 元素半导体;化合物半导体(二元,三元,四元);有机半导体; 窄禁带半导体;宽禁带半导体; §1.1 半导体材料 元素半导体与化合物半导体 §1.1 半导体材料 构成半导体材料的主要元素及其在周期表中的位置 §1.2 固体类型 普通的半导体材料都以固体形式存在 固体依据原子排列形式的不同,可分为单晶、多晶和非晶材料 (1)单晶:长程有序 (2)多晶:长程无序,短程有序 (3)非晶(无定形):基本无序 §1.2 固体类型 单晶:长程有序(整体有序,宏观尺度,通常包含整块晶体材料,一般在毫米量级以上); 多晶:长程无序,短程有序(团体有序,成百上千个原子的尺度,每个晶粒的尺寸通常是在微米的量级); 非晶(无定形):基本无序(局部、个体有序,仅限于微观尺度,通常包含几个原子或分子的尺度,即纳米量级,一般只有十几埃至
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