使用疏水性自組裝單分子膜圖案和零殘留層奈米壓印光刻使銀奈米粒子選.docVIP

使用疏水性自組裝單分子膜圖案和零殘留層奈米壓印光刻使銀奈米粒子選擇性的沉積[10] 班級：碩化材一甲 姓名：侯瑜雯 學號：MA040102 老師：王振乾 前言： 為了製造出含有奈米顆粒的設備，將含有亞微米奈米顆粒進行選擇性沉積是不可避免的。銀奈米顆粒是奈米材料中最有趣的材料之ㄧ，是由於它有效的散射性質、良好的化學穩定性與較高的導電性。因此他可以被使用在各種應用上，包括光學顯微鏡的光學元件[1]、包裝的導電黏合劑[2]與可印刷電子設備的導電油墨[3]。為了利用銀奈米粒子的特性到微奈米設備上，他們需要將含有亞微米大小的圖案選擇性的沉積在各種基板上。 自組裝單分子膜(SAM)可以由他的末端官能基團去控制基板的表面性能[4]。含有疏水的自組裝單分子膜圖案基板的表面能可以被局部性的調整。從結果來看，各種有機材料可使用自組裝單分子膜上的表面能量差被選擇性的成長[5.6]。本篇研究是在說，矽烷類的自組裝單分子膜層是藉由奈米壓印光刻[7]和使用疏水性的自組裝單分子膜將銀奈米粒子選擇性的沉積而被圖案化。 實驗： 所有實驗過程為使用疏水單分子層膜將銀奈米顆粒選擇性的沉積，為圖1。此矽模板使用在本篇研究中是藉由傳統的光刻與含有Cl類等離子體的反應離子蝕刻而被製造。此防黏的自組裝單分子層膜是使用含有0.1%HDSF的正己烷溶液藉由液相塗佈法被塗佈在矽模板的表面上[8]。 使用矽