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静电微执行器 王云 201521203018 机研156 摘要：微执行器是微系统三大组成部分之一，是微系统中能实现微操作的关键驱动部件。现代工业对精度的要求极高，传统的执行器件无法满足这种精度要求，微执行器应运而生。不同的微执行器由于不同的工作特点，制作也有差别。静电执行器是利用异性电荷的库仑力作用来实现机械运动的。静电执行器可以制作静电电机、静电微阀和微泵等。 关键字：驱动；微执行器；静电执行器；电机； Abstract: the micro actuators is one of the three components of micro system is the key to the micro system can realize micro operations drive components. Modern industry for the requirement of high precision, the implementation of traditional device can meet the accuracy requirement, micro actuators arises at the historic moment. Due to the different characteristics of different microactuators, there are differences. Electrostatic actuator is the use of opposite charges of coulomb force is used to implement the mechanical movement. Electrostatic actuator can make electrostatic micro motor, electrostatic micro valve and pump, etc. Key words: drive; Micro actuators; Electrostatic actuator, The motor; 0 引言 微机电系统MEMS，一般泛指尺度在微米级的装置。微机电系统一般有三大部分构成：微传感器、微处理器和微执行器。微执行器在宏观概念上就和电动机一样，是MEMS不可缺少的部件。长期以来，人们研究压电、静电、电磁等各种各样的驱动器件，其中静电力执行器的结构和激励方式简单，加工工艺容易实现，能产生往复振动的静电谐振器频带宽度窄，驱动阻尼小，品质因数高[1]。静电执行器在微系统中应用广泛，是微系统执行器的研究热点。本文从静电执行器的基本概念出发，介绍了静电执行器的工作原理、分类以及前景。 1 静电执行器的概念 静电执行器是利用异性电荷的库仑引力作用来实现机械运动的[2]。如图所示1 图1 静电执行器工作原理 当在两极板施加电压时，由于极板之间有介质存在，正负电荷会分别聚集在两个极板上，这时正负电荷之间就会产生静电引力就是库仑力为 式中 介电常数 S 电极板面积 U 施加电压 d 电极间距 当改变施加的电压时，由于静电引力的变化使电极之间的距离发生几个微米的变化。电极间距越小，电极间电场强度越大，产生的静电力也越大。因此微机电静电执行器能够获得相对较大的驱动力。 静电执行器是表面力的作用，即静电执行器的驱动力取决于施加电压、电极间距和面积，而与电极厚度和体积无关，因此静电执行器的微型化比电磁执行器、形状记忆合金执行器等于体积相关的微执行器易实现。静电执行器常制作静电旋转电机、静电直线电机、静电微泵与微阀以及硅扭转镜等。静电微执行器常采用梳状电极以增加作用面积和运动距离，如图2。 图2 静电梳状电极 2 静电驱动与其他驱动方式的区别 静电驱动与压电、压阻、电磁和记忆合金等驱动方式相比，静电驱动的驱动力不大，但由于静电驱动改变极板电压就可以来改变驱动力，即用电压控制。静电驱动的能耗小，响应时间短，效率高，工艺兼容性好，可以用体硅和表面微机械加工，便于实现系统集成，是微机电执行器的发展趋势[3]。 3 静电驱动的应用 静电旋转电机以梳状电极平行运动为基础，通过时序控制在定子电机各齿面上的电压，使转子收到扭转力产生力矩，从而产生旋转运动。旋转型静电电动机一般是以多晶硅材料制成，形状为扁平。旋转型静电电动机可以分为三种:顶驱动型、侧驱动型以及摆动型。顶驱动型旋转静电电动机的结构是定子在转子的上面，定子电极与转子电极之间形成电容，电容中电场变化产生一个相对轴承为切向的静电力,直接驱动电动机旋转。如图3为静电旋转电机。 图3 静电旋转电机 静电