半导体设备修心得体会2.doc

设备维修心得体会 设备维修工作是一项技术性很强的工作，今天叫我谈谈维修工作的一些经验、技巧，我也谈不出什么东西，只是谈谈我在设备维修工作中一些心得体会，和大家进行交流，仅供大家参考，有错误的地方请大家指出。我所讲的这些，只是起一个抛砖引玉作用，希望大家能将平时在设备维修工作中积累的好经验、好方法展现给大家，相互交流、相互学习，共同提高。 今天的介绍分为（一）设备维修人员基本要求（二）设备维修基本方法（三）几种常用器件好坏判别（四）如何读图，基本电路分析（五）几个维修实例5个部分。 一.设备维修人员基本要求 设备维修是技术性很强的一项工作，现在不少大学设有设备维修专业。专门对大学生传授设备维修方面的专门知识，研究设备维修新方法、新思路、新设备。 我们公司的大部分设备是日本、美国等外国生产的设备，一般是上世纪80年代后的产品，大多采用了微机控制、可编程控制器、机电一体化、高真空、高能粒子磁控等等技术，技术相当复杂。这就要求维修人员要有相当的微机、机电一体化、光学、真空的获得和测量、高能粒子等等基础知识。 设备维修是一项枯燥的工作，又是艰苦工作。每天就是给故障设备治病，有时面对故障，束手无策。甚至很长时间找不到故障的确切原因。这就需要设备维修人员要有敬业精神，爱岗敬业， 坚忍不拔，孜孜不倦，刻苦探索。 设备维修是一门不断发展、不断更新的应用技术。设备维修技术是由二部分组成：基础理论和实践经验的积累融合。基础理论知识固然重要，如何灵活应用基础知识正确分析错综复杂故障现象，如何能迅速准确判断故障原因，这就要求我们在维修工作中不断总结，不断提高。要将现场维修经过自己加工提升，变成自己的经验积累。同时，由于科学技术的飞速发展，各种新工艺、新器件、新材料、新技术不断涌现，这就要求我们不断学习，不断充电，用新知识、新技术不断充实自己，刷新自己。 设备出现的故障各式各样，错综复杂，而我们每个人发现问题分析问题的方法都有其局限性，难免有时会陷入束手无策、进退两难的窘境。如果我们大家团结协作，各抒己见，取长补短，许多问题不难解决。这就需要我们维修人员要有团队精神、协作精神。 二.设备维修的基本方法 设备维修人员和医生差不多，就是给设备治病。遇到设备出现故障，首先是 1.仔细观察，基本确定故障范围。一台设备坏了，首先要仔细的看，仔细的闻。有没有电子元件烧坏，如电阻烧变形，保险丝烧断，电解电容器电解液冒出来了，有没有焦糊味………等等。 元器件烧坏只是故障现象，用同样规格元器件更换烧坏元器件，有时能解决问题，有时还会继续烧。通过仔细观察，基本确定故障范围，继续寻找故障的根本原因。 2.清除设备各部件的沉积的灰尘，以使各电路板、接插件连接良好。 a.我们公司的设备平时维护保养做的比较差，设备内部积灰严重，在通电之前，必须去除设备内部的灰尘。五寸工厂可能好一点，四寸工厂设备内部积灰比较普遍。例如四寸的探针台、计算机测试系统就是如此。建议设备内部每年要做一次除尘，用吸尘器或干燥的压缩空气除去设备内部灰尘。如果设备内部大量积灰，灰尘又吸收空气中的水分，造成设备内部漏电、短路，或者影响高频电路的分布参数，严重影响设备的安全运行。 b.检查各连接插头是否接触良好。 我们检修的设备大多是二手设备，一般运行了一、二十年，许多插头、连接器存在接触不良。我们要仔细将各插头、连接器用触点清洗剂、无水乙醇 3.通电检查控制系统的各路供电电压，测量有关器件工作点并综合分析，缩小故障查找范围。 a.设备通电之前，要查清楚设备的供电电压，千万不能弄错。110V不能插到220V,避免造成更大故障。 TTL数字电路、微机控制部分电压5V±0.2V。 CMOS数字电路供电电压有5V,9V,12V,15V…… 运算放大器供电电压有单电源供电5V,12……等等，双电源供电电压有±6V,±12V,±15V等等。 继电器供电电压有5V,6V,12V,15V.24V等等。 电源电压正常是设备正常运行的最基本条件，这是设备维修的一个重点。我们平时维修的设备故障60%以上是电源故障。在电源故障中，由于我们的设备不少已使用了十年以上，电解电容电解液干枯，电容量变小，漏电增加，退耦能力减少，以至不少微机运行过程不稳定，常常死机，我们首先要检查的应该是+5V±0.2V电源，这一点我们不能忽视。 d.对单板机、单片机它的信号传送、检测、处理都是动态进行的，维修比较困难。如果单板机、单片机出现故障，我们首先检查其供电电压、CPU的复位电路、时钟振荡电路。时钟脉冲可用示波器检测，读出其频率、脉宽、占空比是否符合CPU要求。检测有关TP点信号波形，以便分析对比。如果对某一块电路板怀疑，可用备用板或同样的电路板替换，看看结果有没有