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异常表示画面原因及对策.
异常显示详细画面中的内容
[101] loader部 安全门 开
[102] 曝光部 正面安全门 开
[103] unloadre部 安全门 开
[104] 取出母版部 安全门 开
[105] 取出母版部 安全门 开
[106] 曝光室门开异常
[107] 洁净室入口门开异常
[108] 母版旋转部 门开异常
[111] 共通部 紧急停止
[112] 共通部 紧急停止
[113] 共通部 紧急停止
[114] 共通部 紧急停止
[115] 共通部 紧急停止
[116] 共通部 空気圧低下
[117] 露光室温度異常
[118] 露光部 冷却单元異常
[119] 曝光部 空调单元异常
[120] 曝光部 工作台温度异常
[121] 母版冷却吹出口温度异常
[123] 基板搬出动作异常
[132] loader部屏X规制B 上下异常
[134] unloader部 C/V 旋转马达异常
[135] loader部 屏X規制X马达異常
[136] loader部 X規制閉側 over run
[137] loader部 X規制開側 overrun
[138] loader部 屏搬入異常
[140] loader部 屏Y規制马达異常
[141] loader部 Y規制閉側 overrun
[142] ????部 Y規制開側 ??????
[143] loader部 旋转马达異常
[144] loader部 旋转水平異常
[145] loader部 旋转垂直異常
[146] loader部 屏检测異常
[148] loader部 搬入C/V旋转马达異常
[162]unloader部 旋转马达異常
[165] unloader部C/V旋转马达異常
[166] unloader部 屏Y規制关马达異常
[167] unloader部 Y规制关侧overrun
[168] unloader部 Y規制開側unloader
[169] unloader部 旋转水平異常
[170] unloader部 旋转垂直異常
[171] unloader部排出C/V马达異常
[175] unloader部 panel検出異常
[196] unloader部 屏检测異常
[197] 屏移載部 loader側停止位置偏移
[198] 屏移載部 屏移載規制Y1马达異常(loader側)
[199] 屏移載部 屏移載規制Y1閉overrun(loader側)
[200] 屏移載部 屏移載規制Y1开側overrun(loader側)
[201] 屏移載部 屏移載規制Y2马达異常(unloader側)
[202] ????移載部 ????移載規制Y2閉??????(??????側)
[203] 屏移載部 屏移載規制Y2開overrun(unloader側)
[204] 屏移載部 屏移載規制1XSTP马达異常(马达側)
[205] 屏移載部 屏移載規制1XSTP閉overrun(loader側)
[206] 屏移載部 屏移載規制1XSTP開overrun(loader側)
[207] ????移載部 ????移載走行???異常
[208] 屏移載部 屏移載走行unloader側??????
[209] ????移載部 ????移載????側??????
[210] ????移載部 規制1????検出異常
[211] ????移載部 規制2????検出異常
[212] P移載部 規制1XSTP 上下異常
[213] P移載部 回生電圧低下?????異常
[228] 露光?部 ?????X規制???異常
[229] 露光?部 ?????X規制閉側??????
[230] 露光?部 ?????X規制開側??????
[231] 露光?部 ?????Y規制???異常
[232] 露光?部 ?????Y規制閉側??????
[233] 露光?部 ?????Y規制開側??????
[234] 露光?部 ?????(X?Y?θ)???異常
[235] 露光?部 ?????X軸右側??????
[236] 露光?部 ?????X軸左側??????
[237] 露光?部 ?????Y軸前側??????
[238] 露光?部 ?????Y軸後側??????
[239] 露光?部 ?????θ軸+側??????
[240] 露光?部 ?????θ軸-側??????
[241] 露光?部 ?????Z???異常
[242] 露光?部 ?????
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