电容式传感器测位移..doc

传感器与检测技术课程设计 题目： 电容式传感器测位移 专 业： 测控技术与仪器 班 级： 学 号： 201220120214 目 录 一. 电容式传感器 1.1 电容式传感器工作原理 2 1.2 电容式传感器的结构类型 3 1.3 电容式传感器的优缺点 4 二. 电容式传感器测位移特性 2.1 设计原理图 5 2.2 流程图 5 2.3 测试方法 5 数据及分析 6 四.课程设计心得 7 一．电容式传感器 1.1 电容式传感器的工作原理 两块极板之间的间隙变化，或是表面积变化，将使电容量改变，根据这一原理制成的传感器称为电容式传感器。 电容式传感器是以各种类型的电容器为传感元件，将被测物理量装换成电容量的变化来实现测量的。电容式传感器的输出是电容的变化量，利用电容C= εA/d关系通过相应的结构和测量电路可以选择ε,A,d中三个参数中，保持两个参数不变，而只改变其中一个参数，则可以有测干燥度（ε变）,测位移（d变）和测液位（A变）等多种电容式传感器。 本实验采用传感器为两组静态级片和一组动级片组成两个平板式变面积差动结构（两个平板是变面积电容变化量只△C=△C1-△C2）的电容位移传感器（具体平板式变面积电容式传感器原理参阅教课书），差动时一般优于单组（单边）式的传感器。它的灵敏度高，线性范围宽，稳定性高。 电容量和两个极板的间隙、表面积之间的关系可用下式表示 C=?/d =/d 式中， C : 电容 （微微法）； ? : 极板间介质的介电常数，空气的 ? = 1； : 两个极板相互覆盖的面积 (cm2) ； d : 两个极板间的距离 (cm2) ； : 相对介电常数 ； : 真空介电常数 ；= 0.088542*10 F/cm 。 由式可见，在3个参数中，只要改变其中一个参数，即可使电容C发生变化。如果保持其中两个参数不变，就可把另一个参数的单一变化转换成电容量的变化，即可以把3个参数中的任意一个的变化转换成电容C的变化。这就是电容式传感器的基本工作原理。 1.2 电容式传感器的结构类型 根据工作原理，在实际应用中，电容式传感器一般可分如下 3种类型： ① 可以改变两极板间的距离d ； ② 可以移动极板，以改变极板间相覆盖的面积S ； ③ 可以改变极板间的介质，以便介电常数 ? 发生变化。 这3类常见的电容式传感器的主要结构形式分为改变极板覆盖面、改变极板间距离和改变介质3组，每组又依运动件的平移（直线运动）或角位移（旋转）分类。对于1、2组，每类又依电容器的形状分成平面形或圆筒形。电容式传感器的组成可有单片单组、差接组和多片单组等组合方式。 1.3 电容式传感器的优缺点及一些特殊问题 优点 动作能量低（极板间静电吸引力约几个10C），动作响应快（固有频率高,载波频率高），本身发热影响小（用真空，空气或其他气体作绝缘介质时），灵敏度高，误差小，能在恶劣的环境下工作（如在高温，低温及强辐射等各种环境下）。因此，该传感器近几年来得到了较快的发展，逐渐广泛地应用在工业自动化仪表中。 缺点 其输出特性式非线性的。对于改变极板距离的电容传感器。电容量和极板间距离是非线性关系，虽然用差动式结构可以使其得到改善，但是由于存在泄漏电脑和不可避免的不一致性，也不可能完全消除特性的非线性。 （2）泄漏电容的影响，传感器的电容量及其变化一般小于电容量，泄漏电容量式由支持构建及连接电缆所引起。这些泄漏电容不仅降低了转换效率，还将引起误差。但是，利用电缆屏蔽层的点位跟踪与电缆相连接的可动极板的点位，或将信号处理的电子线路安装在非常靠近的地方，皆可消除泄漏电容的影响。 由于上述特点，目前电容式传感器通过改变d和s，在对