5.2固体成像器件说课.pptVIP

光电成像器件 －－固体成像器件 分类 与真空光电器件相比 一、电荷耦合器件 电荷耦合器件简称为CCD(Charge Coupled Devices)，是20世纪70年代初开始发展起来的新型半导体器件。从CCD概念提出到商品化的电荷耦合摄像机出现仅仅经历了四年。其所以发展迅速，主要原因是它的应用范围相当广泛。它在数字信息存贮、模拟信号处理以及作为图像传感器等方面都有十分广泛的应用。 （一）、CCD工作原理 CCD的突出特点在于它以电荷作为信号。CCD的基本功能是电荷的存贮和电荷的转移。因此，CCD的基本工作原理应是信号电荷的产生、存贮、传输和检测。 CCD有两种基本类型， 一种是电荷包存贮在半导体与绝缘体之间的界面，并沿界面传输，这种器件称为表面沟道CCD(简称为SCCD)，另一种是电荷包存贮在离半导体表面一定深度的体内，并在半导体体内沿一定方向传输，这种器件称为体沟道或埋沟道器件(BCCD)。下面以SCCD为主讨论CCD的基本工作原理。 1、电荷存贮 2、电荷耦合 3、电荷的注入和检测 φ2下势阱中的电荷量 （二）CCD的特性参数 1．转移效率和转移损失率 2．工作频率 (三)CCD摄像器件 （1）．单沟道线型ICCD （2）．双沟道线型ICCD 2面阵ICCD （1）帧转移 （2）隔列转移型面阵ICCD (四)ICCD的基本特性 1.光电转换特性 2.光谱响应 3．噪声和动态范围 4． 暗电流 5分辨率 (五)CCD摄像机的分类 二、CMOS图像传感器 红外热像仪 热摄电摄像管 思考题 1 为什么三相线阵CCD必须在散相交叠脉冲的作用下才能进行定向转移？其驱动脉冲频率的上下限受哪些条件限制？ 2 为什么要引入胖零电荷？ 3 CMOS 图像传感器和CCD图像传感器的主要区别是什么？ 4 CCD的工作原理。 5 简要说明CCD的电荷输出方式。 在ICCD中，电荷包是由入射光子被硅衬底吸收产生的少数载流子形成的，因此，它具有良好的光电转换特性。它的光电转换因子可达到99．7％ ICCD接受光的方式有正面光照与背面光照两种不同方式。由于ICCD的正面布置着很多电极，电极的反射和散射作用使得正面照射的光谱灵敏度比背面照射时低。即使是透明的多 晶硅电极也会因为电极的吸收以及在整个硅－－二氧化硅界面上的多次反射引起某些波长的光产生干涉现象，出现若干个明暗 条纹，使光谱响应曲线出现若干个峰与谷，即发生起伏。为此，ICCD常采用背面照射的方法。采用硅衬底的ICCD，其光谱响应范围为0．4～1．1μm。其平均量子效率为25％。 动态范围由势阱的最大电荷存储量与噪声电荷量之比决定。 ①势阱的最大电荷存储量。 ②噪声 CCD中有以下几种噪声源：电荷注入噪声；电荷转移过程中，电荷量的变化引起的噪声和检测时产生的噪声。 ①耗尽的硅衬底中电子自价带至导带的本征跃迁。 ②少数载流子在中性体内的扩散 ③来自sio2表面引起的暗电流 ④si- sio2 界面表面引起的暗电流 分辨率是图像传感器的重要特性。常用光学传递函数(OTF)中的调制传递函数(MTF)来评价。图为宽带光源(白光)与窄带光源照明下某线阵ICCD的MTF曲线。 图中横坐标为归一化的空间频率，纵坐标为其模传递函数。 1．依成像色彩划分 (1)彩色摄像机 适用于景物细部辨别，如辨别衣着或景物的颜色。 因有颜色而使信息量增大．信息量一般认为是黑白摄像机的l0倍； (2)黑白摄像机 适用于光线不充足地区及夜间无法安装照明设备的 地区，在仅监视景物的位量或移动时，可选用分辨率高于彩色摄像机的黑 白摄像机。 2．按图像信号处理方式划分 (1)数字视频(DV)格式的全数字式摄像机： (2)带数字信号处理(DSP)功能的摄像机； (3)模拟式摄像机。 4．按摄像机分辨率划分 200万象素 400万象素 800万象素 3．按摄像机结构区分 (1)普通单机型，镜头需另配; (2)机板型(board TyPe)摄像机部件和镜头全部在一块印刷线路板上 (3)针孔型(pinho1e type)带针 孔镜头的微型化摄像机； (4)半球型(dome type)是将摄像机、镜头、防护罩或者还包括云台 和解码器组合在一起的紧凑型摄像前端系统，使用方便。 5．按摄像机灵敏度划分 (1)普通型 正常工作所需照度为(1—3)lx， (2)月光型 正常工作所需照度为0．11x左右； (3)星光型 正常工作所需照度为0．011x以下 (4)红外照明型 原则上可以使可见光零照度， 6．按靶面大小划分 以常规的有： (1)1 in 靶面尺寸为宽12．7mm×高9．6m