X線検出器TES型カロリメータ.pptVIP

話の流れ 開発の現状 TES型X線マイクロカロリメータの製作 プロセスフロー その２ TESの製作 １ TESの製作 ２ チタン 40 nm 金 80 nmのエッチング アルミ配線の製作フロー アルミ配線の製作 メンブレン構造の製作フロー メンブレン構造の製作 1 異方性エッチング （110）シリコンのKOHエッチング後の写真 完成したTES型X線マイクロカロリメータ X線照射実験セットアップ X線の検出に成功 エネルギー分解能 まとめと今後 カロリメータのノイズ ジョンソンノイズ フォノンノイズ エクセスノイズ X線スペクトル 禁制線 * * 宇宙物理実験研究室 藤森 玉行 TES型X線マイクロカロリメータの製作プロセスの構築 天体観測において必要とされるX線検出器 X線マイクロカロリメータの原理 開発の現状と研究目的 TES型X線マイクロカロリメータの製作 TES アルミ配線 メンブレン構造 X線照射実験 性能評価 まとめと今後 天体観測で必要とされるX線検出器 これらの微細構造を分離するには ΔＥ＝1～2 eVが必要　　 Ｘ線ＣＣＤ検出器の場合 （ΔＥ＝120 eV@6 keV） ○　鉄のKα線とKβ線 ×　共鳴線や禁制線などの微細構造 5000万度のプラズマからのＸ線スペクトル これらを満たすＸ線検出器としてＸ線 マイクロカロ