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鉭电容冲压成型的表面处理 学生：xxx 指导教师：xxx 项目编号：xxx xxx xx学院 1 前言 钽电容器体积小、容量大、漏电流低、使用寿命长、综合性能优异，是最优秀的电容器，不仅在常规条件下比陶瓷、铝、薄膜等其它电容器体积小、容量高、功能稳定，而且能在许多为其它电容器所不能胜任的严峻条件下正常工作。由于钽电容器具有其它诸多电容器不可比拟的优异特性，在微电子科学和表面贴装技术领域，几乎无可等效替代的其它电容器与之竞争，因此60~65%的钽用于制作钽电容器。钽电容器已日益广泛应用于程控机、交换机、手机、传呼机、传真机、无绳电话通讯计算机、汽车、家用和办公用电器、仪器仪表、航天航空、国防军工等领域和科技部门。，，，Ta5+含量增加，阳极上有氧气析出，还伴有溶液的温度上升的现象，但温度上升并不明显。阳极氧化过程中采用电动搅拌的方式以使电解液浓度较为均匀，降低浓差极化现象。 ①阳极和界面电解液中的反应： Ta＋H2O=TaOH＋H+＋e- (1) 10TaOH=Ta2O5＋8Ta＋5H2O (2) 该反应的速度为电荷迁移所控制。 2H2O=O2↑＋4H+＋4e- (3) ②阴极和界面电解液的反应： 2H+＋2e-=H2↑ (4) 从（1）式生成初生态氧的[O]与Ta生成氧化钽，内层的氧化膜组织密实，硬度较高、厚度约为1-5um， 2.1.3试验工艺流程 钽片→(砂纸打磨)→碱性除油→去离子水超声波水洗→酸洗→去离子水洗→阳极氧化→去离子水洗→干燥→称重→封存→观察金相→测量膜厚→测量显微硬度→观察电镜→贴标签封存。 2.1.4实验过程中的主要参数 顺序 工序 溶液成分 工艺参数 温度/℃ 时间 1 金相砂纸打磨 2 称重 3 除油 4%NaOH 50 1分钟 4 混酸前处理 见注释① 室温 10秒 5 超声波清洗 水 室温 1分钟 6 阳极氧化 1Mol/L磷酸/硫酸 工艺而定 15-60分钟 7 称重 8 观察金相 9 测膜厚 10 测显微硬度 11 电镜观察表面形貌 注释①：其中混酸处理液浓度比为(浓H2SO4∶浓HNO3∶浓HF=52∶2) 2.1.5实验组的设置 电解液温度：25℃ 电解液：10%硫酸、1%硝酸、1mol/L磷酸 电极电压：6V、12V、30V、60V、90V、100V 2.1.6氧化膜性能测定 1.氧化膜厚度的测定 用TT260覆层测厚仪测量不同的阳极氧化工艺的氧化膜的厚度。 2.氧化时间--氧化电流值的测定 观察钽在恒压阳极氧化时电流随时间的变化规律，并详细记录钽恒电压下，不同条件中阳极氧化的电流--时间关系线。 3.氧化膜微观形貌及致密度观察 用日本岛津电子的电子显微镜观察氧化膜的微观结构并拍摄照片， 将钽片制备氧化膜表面的截面，以观察薄膜层横截面。 4.接触角的测量是在接触角测定仪上对每个试样分别测试。过程分为下降和上升两个阶段，由电脑给出结果。 5.测定氧化膜显微硬度。 由金相显微镜观察氧化膜，测定其硬度。 2.2覆膜材料保护技术 2.2.1 接触角测定仪的原理 接触角测定仪的工作原理是通过一个非常精确的微量天平准确测量试片与介质水接触时所引起的表面张力的微小变化，并将其转化成电信号传至计算机，通过软件计算出接触角。整个过程分为两个阶段，第一阶段为试片缓缓下降直至与水接触；第二阶段为试片上升阶段，整个过程都由计算机绘出力学曲线，曲线的两条斜率就是下降和上升阶段各自的接触角。 2.2.2测量钽金属的接触角 在冲压成型前钽表面涂一层润滑油，在钽表面铺一层聚乙烯醇薄膜形成隔离层以改善黏膜。采用浓度13%的聚乙烯醇水溶液制得聚乙烯醇薄膜。通过接触角测定仪对其进行测定接触角。为此，在水为介质条件下。测定了聚乙烯醇薄膜、纯钽、氧化钽的接触角。 通过对三种材料接触角的分析，我们可以得出聚乙烯醇膜与纯钽的浸润效果较好，比较适合作为覆膜材料。另外钽冲压成型后残余聚乙烯醇膜的后处理工艺较简单，且不会对钽电容的性能造成影响 3 主要成果 3.1阳极氧化表面处理 （1）.获得了氧化处理后的钽材料，冲压成钽电容外壳。 （2）.分析阳极氧化条件对钽氧化膜的影响，得到阳极氧化的最优条件。 阳极氧化的最优条件： 在室温条件下，以10%的磷酸为电解液，两极电压100V，氧化时间为50min条件下，钽氧化膜厚度最大（4.3um） 在室温条件下，以10%的硫酸为电解液，两极电压10V或120V，氧化时间为60min条件下，氧化后钽维氏硬度最高（177HV） 3.2覆膜材料保护技术 (1)．对钽金属表面张力进行测定。 钽及氧化钽表面张力对比 纯钽接触角