真空系统组成与设计基础剖析.ppt

(7)保证真空系统元件壳体和真空室壳体有足够强度。实验表明真空容器采用圆形结构较好。端盖采用凸形结构为好。 (8)由外部进入真空室内的转动件或移动件,要保证可靠的动密封。除了选择好的密封结构外,其中的轴或杆一定要满足粗糙度要求。更要防止在轴和杆上有轴向划痕,这种划痕会降低真空度,而且不易发现。 (9)真空系统上测量规管座位置安排应遵循如下原则： 不能将测量规管放在密封面较多的地方。因为每一个密封面都不可能保证绝对不漏气,密封面集中之处,必然是容易漏气的地方,测量值可能不准。 规管内壁各处,必须保证真空卫生。否则会造成测量不准。 规管应尽量接在靠近被测量的地方,以减少测量误差。 (10)真空室壳体上的水套结构,要保证水流畅通无阻。更不能出现死水造成局部过热。因此进出水管位置要一下一上,且设置流水隔层,使水沿一定路线流动。 (11) 真空元件相互联接时，应尽量做到抽气管路短，流导大，导管直径一般不小于泵口直径，这是系统设计的一条重要原则。但同时要考虑到安装和检修方便。有时为了防振和减少噪音，可以将机械泵设置在靠近真空室的泵房内。 (12)机械泵(包括罗茨泵)有振动,为隔离振动，通常采用软管减振。软管有金属和非金属两种，均需保证在大气压力作用下不被压瘪。 (13)真空系统应便于测量与检漏。为了迅速找到漏孔，要进行分段检漏，因此每一个用阀门封闭的区间，至少要有一个测量点。 (14) 真空系统中配置的阀门和管道,应使系统抽气时间短,使用方便,安全可靠。 一般在有一个蒸气流泵作为主泵(扩散泵或油增压泵)；和一个机械泵作为前级泵的系统中，除了有前级管道(串联蒸气流泵和机械泵的管道)外，还应有一个预真空管道(真空室直通机械泵的管道)。 其次是在真空室和主泵之间设有高真空阀门(也称主阀),在前级管道上设有前级管道阀;在预真空管道上设置预真空管道阀。机械泵入口管道上,应设一个放气阀门,防止机械泵停泵时返油。真空室上也要设置放气阀门,给装料和取料时用。 (15)真空系统的设计应保证排气稳定可靠,安装拆卸维修容易,操作方便,各元件间的连接有互换性。 (16)真空系统设计中要采用新技术,做到自动控制和联锁保护。 (17)真空系统设计中要求做到节省能源,降低成本,使用方便可靠。 因此抽气时间的计算可用下式 高真空抽气时间的计算 1）高真空抽气的气体负荷 高真空抽气是指压强在0.5～10-5Pa范围内的抽气。这段抽气通常要经过机械真空泵预抽之后来进行。这时容器中空间的气体已经大大减少了，而其他气源愈来愈成为主要的气体负荷。其中有：(1)微漏。(2)渗透。 (3)蒸发。(4)表面放气。 总的表面放气流量Qout为 2）高真空的抽气时间解析法近似计算 若不考虑真空室中空间气体负荷对抽气的影响，则可以认为泵或机组对真空室的排气量仅与放气和漏气处于动平衡状态。于是高真空抽气时间可通过求解下列方程求得 3.3 真空泵的选择与匹配计算 3.3.1 主泵的选择与计算 3.3.2 前级真空泵的选择与计算 3.3.3 预抽泵的选配 3.3.4　维持泵和储气罐 3.3.1 主泵的选择与计算 选主泵要考虑两个方面： 一是选择主泵的类型； 二是确定主泵抽速的大小。 真空区域的划分 真空区域划分标准 粗低真空: 105 ~ 102 Pa 中真空: 102 ~ 10-1 Pa 高真空: 10-1~ 10-5 Pa 超高真空: 10-5~ 10-9 Pa 极高真空: 10-9~ 10-14 Pa 真空区域的划分 真空区域的划分原则-----真空获得技术 低真空: 旋片泵, 水环泵, 滑阀泵 中真空: 罗茨泵, 油增压泵 高真空: 扩散泵, 分子泵 超高真空: 离子泵, 升华泵 各种真空泵的工作压强范围 1 主泵的类型 确定主泵类型的依据: 1）根据真空室所需要建立的极限压力确定主泵的类型。 2）根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。真空室内的工作压力一定要在主泵的最佳抽速压力范围之内。 3）根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。 4）正确地组合真空泵。 确定主泵类型的依据: 5）若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 6）选择真空泵时，应该知道被抽气体成分，针对被抽气体成分选择相应的泵。如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管