第8章光电式传感器报告.ppt

主要内容 8.1 光基础知识 8.2 光电效应 8.3　外光电效应器件 8.4 内光电效应器件 8.5 新型光电传感器 8.6 光电传感器的应用举例 Nd:YAG激光器 8.6 光电传感器的应用举例 由于光电测量方法灵活多样，可测参数众多，又具有非接触、高精度、高分辨率、高可靠性和响应快等优点，加之激光光源、光栅、光学码盘、CCD器件、光导纤维等的相继出现和成功应用，使得光电传感器在检测和控制领域得到了广泛的应用。按其接收状态可分为模拟式光电传感器和脉冲光电传感器。 光电传感器在工业上的应用可归纳为吸收式、遮光式、反射式、辐射式四种基本形式。下图表明了四种形式的工作方式。 例1：直射式光电转速传感器 固态图象传感器的应用: 用CCD线阵型摄象机作流水线零件尺寸在线检测。 采用摄像机利用三角法测量物体位置。 用三角法测量工件轮廓。 采用面阵式CCD摄象机利用投影法测量物体三维表面形貌 用莫尔条纹法来测量物体的三维形貌。 例7：路障灯、航标指示灯电路 白天光敏电阻阻值低，BGl截止，BG2也截止，双向可控硅处于断的状态，当天黑时，光敏电阻阻值增加， BGl 与BG2 相继导通，双向 可控硅有触发电流而处 于导通状态，灯亮。 例8：路灯自动控制器 220V CJD-10 路灯 8V C1 200u C2 200u R1 470k R2 200k R3 10k R4 57k R5 4.3k R6 25k R7 10k R8 280k J C3 100u BG1 BG2 BG3 BG4 2CR 天黑：BG1导通，J动作，路灯亮； 天亮：光电池电动势，BG1截止J释放，路灯灭。 例9：太阳能电池电源系统 调节控制器 太阳 电池 方阵 直 流 负 载 逆 变 器 交 流 负 载 发电装置： 单体太阳能电池——太阳电池组件——阵列 调节控制器：充放电自动控制 阻塞二极管：避免蓄电池对太阳电池放电 例10：光电管在电影放映机上的应用 影片声音重放过程 录制：声音-机械振动-通过光束宽度变换-记录在 电影胶片上-宽度不同的影像声迹 重放：光-声迹-光电管 声迹宽度起伏变化-光线强弱变化-光电流变化 例11：注油液位控制装置 例12：测量心率 脉搏跳动-生物组织血液 量变化-传输光的性能变化 变化速率-心率 手指光反射强度变化的测量 例13：条形码扫描笔 例14：红外线警戒报警器 电 源 光源 滤光片 红外线 凸透镜 红外接收器 报警系统 声 光 报 警 VD1 2CU RP1 10k VT1 3AX31 R2 51k R1 R310k VT2 VD2 2CP10 K2 K S 9V K1 +V 有人遮挡：报警 例15：大米分选机 大米及杂质 在光照下， 发出不同 光信号 例16：可逆计数器 运动方向 出入场人数统计 可逆计数器 —— 电路原理图 逻辑关系 各点波形 例17：吸收式烟尘浊度检测仪 白炽平 行光源 光检测 放大 显示 报警器 刻度校正 根据光学性能，不同颜色的光在不同的介质中的穿透能力不同。利用不同介质对某一色光的吸收，用这种色光去投射液体管道，根据接收到的光强来判断管道中的液流介质。 8.5.3 光固态图象传感器 光固态图象传感器由光敏元件阵列和电荷转移器件集合而成。它的核心是电荷转移器件CTD（Charge Transfer Device），最常用的是电荷耦合器件CCD（Charge Coupled Device）。由于它具有光电转换、信息存储、延时和将电信号按顺序传送等功能，以及集成度高、功耗低的优点，因此被广泛地应用。 1．CCD的结构和基本原理 CCD是一种半导体器件，由若干个电荷耦合单元组成。CCD的最小单元是在P型（或N型）硅衬底上生长一层厚约120nm的SiO2，再在SiO2层上依次沉积金属或掺杂多晶硅电极而构成金属-氧化物-半导体的电容式转移器。其中，“金属”为SiO2层上沉积的金属或掺杂多晶硅电极，称为“栅极”；半导体硅作为底电极，俗称“衬底”；“氧化物”为两电极之间夹的绝缘体SiO2。 CCD的MOS结构 P型Si 耗尽区 电荷转移方向 Ф1 Ф2 Ф3 输出栅 输入栅 输入二极管 输出二极管 SiO2 当向SiO2表面的电极加正偏压时，P型硅衬底中形成耗尽区（势阱），耗尽区的深度随正偏压升高而加大。其中的少数载流子（电子）被吸收到最高正偏压电极下的区域内（如图中Ф1极下），形成电荷包（势阱）。 对于N型硅衬底的CCD器件，电极加正偏压时，少数载