第八章 物的理气相沉积技术.pptVIP

物理气相沉积技术 第八章 低维材料 定义：二维、一维和零维材料，统称低维材料。 二维材料：是指当材料的任一维度，如Z方向的尺寸小到纳米量级，则此材料就成为X，Y方向延展的二维材料。 ——薄膜材料(纳米薄膜） 一维材料：当材料在Z方向缩小的同时，Y方向也缩小到纳米尺度。——又称量子线，纳米管 零维材料：当材料在X，Y，Z方向上的尺寸都缩小到纳米量级。 ——纳米粉体材料 薄膜材料的制备 气相沉积技术 溶胶凝胶技术 眼镜片的镀膜 1、减反射膜（增透膜） 2、顶膜（防水膜、防雾膜） 镀膜技术的评价 薄膜性能 膜厚分布 附着力 沉积速度 一、 真空蒸发镀 概念： 真空蒸发镀是将被镀工件放在真空室，并用一定方法加热使镀膜材料（简称膜料）蒸发或升华飞至工件表面凝聚成膜。 （一）真空蒸发镀示意图 １、蒸发 　　 ２、汽化粒子的输运　（源－基距＜平均自由程） ３、凝聚、生长过程 1、蒸发过程 蒸发速率： Gm＝4.38*10－3PS(Ar/T）0.5 确定材料的饱和蒸汽压PS ，T Gm 确定材料的饱和蒸汽压PS ，Gm T 蒸发方式（蒸发源类型） 1、电阻加热蒸发方式 2、电子束加热蒸发方式 3、高频加热蒸发方