- 34
- 0
- 约 24页
- 2017-01-21 发布于江苏
- 举报
目 录
摘要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Ⅰ
Abstract .......................................................... Ⅱ
第一章 1
1.1单晶硅的制备方法 ...............................................1
1.1.1区熔法 .................................................... 1
1.1.2直拉法 .................................................... 1
1.2直拉单晶硅的特点 ...............................................2
第二章 直拉单晶炉设备结构及保养与维护 .............................3
2.1直拉单晶硅炉的结构 .............................................3
2.2直拉单晶设备中的各类装置 .
原创力文档

文档评论(0)