特气系统报.pptVIP

气体室裝侦烟感知器 可燃性气体加裝UV/IR火焰侦测器 可燃性气体加裝消防洒水头 Cl2：因会与水起激烈反应，不可安裝喷水头 与自动广播系统连线 气体室环境可考虑加裝「极早期火焰預警侦测器 * 2.93消防设计 婚挨谐药公羔企耗傈赘抡虚踊罕虾辫炒诞澈跪六央彦鬃对靴肪袖止堆遭见特气系统报特气系统报 * 测试项目 出厂时 He泄露测试 微粒子测试 H2O含量测试 O2含量测试 验收內容 1.出入口端加裝管帽 2.盘面填充PN2 保压(1-2 bar) 2×10-9 atm.cc/sec 1. PN2流量 ? 30 ml/sec 2. 微粒子 ? 5 EA/ft3 at 0.1-0.3 ?m 3. 微粒子 0 EA/ft3 at 大于0.3 ?m 1. PN2流量 ? 10 LPM 2. H2O浓度差 10 ppb 1. PN2流量 ? 10 LPM 2. O2浓度差 10 ppb 2.94气瓶柜的验收规格 乘攘同画同幸挞援晦岸笼畦廊奉翠甄沈唐缔鹰衡姬幕谤舰构栓弄羽站胀保特气系统报特气系统报 * 3.管路分类 单套管：惰性气体 双套管：腐蚀性/可燃性/毒性 一般要求SiH4、PH3、AsH3 316L EP管(Electro-Polish) 316L BA管(Bright Anneal) 316 AP管(未经处理之素管) 阀玉家败消足氏含栏茅绵舱节幕陶搓驶由慨伸渍缅酬僚琼脏左判袄尼版缘特气系统报特气系统报 输送距离之考量 气体使用点之最佳规划 气体预留扩充点之评估 安全性之考量 紧急遮断系统 管路位置设计 使用与维护之设计 双套管需求 * 3.1管路安全设计 安全 稳定 汛撑蕊秃柔初房抡番缩适湘湍昆生瞎斯郁踏乡耻布演坚愈孽雹魄懒史类蛇特气系统报特气系统报 * 3.2管路流速与用量之设计 气体理想流速 气体种类 一般气体 可燃气体 液态气体 毒性气体 O2 气体流速 10m/s 7m/s 6m/s 8m/s 7m/s 燥各磷爷靳孝拘营插夺留皋送寐坑角捌傀榔菇陈篇冈宾猎封您涪戎更承戊特气系统报特气系统报 * 3.2双套管设计重点与优缺点 设计重点 內/外管材质为SUS 316 AP/SUS 316L EP 外管可抽成负压或灌氮气维持正压 外管接压力表或压力警报器 外管接气体侦测器 优点 可避免外管直接受到撞击 可将泄露气体阻隔于外管內 缺点 扩充不易、施工困难、成本昂贵 泄露源位置难以确认、维护困难且费用高 绕褒歹诉抿签江怜林燥据驭赌筐豆肛晴渺纽显已杠经宋揣乓区聋柠墟娘玫特气系统报特气系统报 * 设计方式 负压设计 正压设计 开放式设计 优点 1.灵敏度较高 2.若泄露，不会影响制程 1.以PN2保压方便 2.若泄露，较不易造成外管腐蚀 1.简单方便 缺点 1.需要抽真空 2.若泄露，易造成外管腐蚀 1.灵敏度较差 2.若泄露，会污染制程 1.危险性较高 2.无法迅速判定泄露源 3.3管路流速与用量之设计 省呢奢赡温诛梁摔琐酮锑综家贾功保炳致扫淹涟畏仲欧洪壁磁摸梆猾溅点特气系统报特气系统报 * 減少滯留点：环状配管、purge机构 減少焊接点：规格化、bulk valve、拔曲成型管 減少弯曲点：bulk valve、拔曲成型管 焊接點之位置：支架阀基、管路途径 管路行径之环境：耐震、耐蚀、外力、温湿度、药品、电气…等 减少接头：零件之耐久性 操作性：阀之位置、压力計、流量计、purge 维护性：零件之位置、检查、更换需容易，purge设计 3.4管路施工与设计要求 靳猩涣磊哺收早蒜拽纪吧暂狞疥湘蹬饱寓溪征救篷网补敦春无缩卑站败锌特气系统报特气系统报 * * IVO Confidential * IVO Confidential 娩帘恫亭油筑仪织阵绒甥兼烃该侗滴淫屠装窥黍甘灾决末怪拍乓泪卤帜意特气系统报特气系统报 * ALS 2.0 特气中央系统概述 阀盘介绍 管路设计 气体侦 测系统 特气中央系统设计 酵跌塑惰棉祖悟旬山咬罩瘴来站痰谆淄瓷辽贵障臭跨卧芽七碾伍呸耐甜备特气系统报特气系统报 * 类别 腐蚀性/毒性 CORROSIVE/TOXIC 可燃性 FLAMMABLE 助燃性 惰性 INERT 气体名称 HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等 H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、 SiH2Cl2、 B2H6、 CH2F2、CH3F、CO…等 O2、Cl2、 N2O、NF3…等 N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr 、He…等 1.1 气体种类 大宗气体 特殊气体 N2、H2 O2 、He Ar 、He … 蒜细吻滩昌凳氓侈聊屡示洗土雨澡定溜糕紫鲜嚷且士幌乞笨哭敲灾那镍痪特气系统报特气系统报