1 薄膜制的真空技术基础.pptVIP

薄膜制备的真空技术基础 薄膜制备的真空技术基础 1 薄膜制备的真空技术基础 1.1 气体分子运动论的基本概念 1.2 气体的流动状态和真空抽速 1.3 真空泵简介 1.4 真空的测量 1.1 气体分子运动论的基本概念 理想气体模型： 气体分子之间除相互碰撞的瞬间之外，完全不存在相互作用，即它们可被看作是相互独立的硬球，且硬球的半径远小于球与球之间的距离。 在一般的温度和压力条件下，所有气体可看作理想气体。 1.1.2 气体的压力和气体分子的平均自由程 理想气体的压力： 气体分子的平均自由程： 气体分子在两次碰撞的间隔时间里走过的平均距离。 1.1.3 气体分子的通量 单位面积上气体分子的通量：气体分子对于单位 面积表面的碰撞频率。 计算：在高真空的条件下，清洁表面被环境中 的杂质气体分子污染所需时间。 (假设: 每一个向清洁表面运动过来的气体分子都是杂 质，且每一个杂质分子都会被该表面所俘获。) 衬底完全被一层杂质气体分子覆盖所需要的时间： 1.2 气体的流动状态和真空抽速 分子流状态：在高真空环境下，气体的分子除了 与容器壁碰撞以外，几乎不发生气体分子间的相 互碰撞。 特点：气体分子平均自由程大于气体容器的尺寸 或与其相当。（高真空薄膜蒸发沉积系统、各种 材料表面分析仪器） 粘滞流状态：当气压较高时，气体分子的平均自 由程很短，气体分子间的相互碰撞较为频繁。 （化学气相沉积系统） 1.2.2 气体管路的流导 流导：真空管路中气体的通过能力。 1.2.3 真空泵的抽速 真空泵可以提供的极限真空度 （存在气体回流的情况） 按获得真空的方法，真空泵分为两大类： 输运式真空泵：采用对气体进行压缩的方式将气体分子输送至真空系统之外。（机械式气体输运泵，如旋片式机械真空泵、罗茨泵、涡轮分子泵；气流式气体输运泵，如油扩散泵 ） 捕获式真空泵：依靠在真空系统内凝集或吸附气体分子的方式将气体分子捕获，排除于真空系统之外。（低温吸附泵、溅射离子泵） ★某些捕获式真空泵在工作完毕以后还可能将己捕获的气体分子释放回真空系统。 1.3.1 旋片式机械真空泵★ 1.3.2 罗茨（Roots）真空泵 1.3.3 油扩散泵 1.3.4 涡轮分子泵★ 1.3.5 低温吸附泵 1.3.6 溅射离子泵★ 1.4 真空的测量 由仪器测出的真空度与真空室的实际真空度 之间可能会由于温度不同而存在误差。 在分子流状态，而且真空室与测量点之间存 在较细的管道连接时，测量压力pm和实际压力 pc之间的关系将可由分子净通量为零的条件得 出： 1.4.1 热偶真空规和皮拉尼（Pirani）真空规★ 1.4.2 电离真空规★ 1.4.3 薄膜真空规 本章小结 1. 概念：平均自由程，通量，流导，抽速 2. 真空的划分， 气体流动状态的划分（克努森准数Kn） 3. 真空泵的工作原理及适用范围 （旋片式机械真空泵、涡轮分子泵、溅射离子泵） 4. 真空计的工作原理及适用范围 （热偶真空规、电离真空规） 工作原理： 依靠安置在偏心转子中的可以滑进滑出的旋片将气体隔离、压缩，然后排出泵体之外。 垫得把辆倾歼漏富曙飘菠胶峨征颗点震机届捣涛季碗技扮尧蜘弄礼傅蒲源1 薄膜制的真空技术基础1 薄膜制的真空技术基础 理论抽速Sp=转子与定子间的体积V×转速f抽速范围:1~300L/s，极限真空度：10-1 Pa 特点：结构简单、工作可靠 缺点：油污染 工作原理示意图： 单独使用或高真空系统的前级真空 吸气 压缩 排气 膀彼刨告驾缴辫逢窗萤憾江淹娟磁尧味瞧孔闲干椅叶亦牵武熊侩坯圈谷渗1 薄膜制的真空技术基础1 薄膜制的真空技术基础 工作原理： 泵内两个呈8字型的转子以相反的方向旋转。 优点：无油，抽速大（103 L/s）， 极限真空度高（10-2 Pa） 缺点：适用范围窄（0.1~1000Pa） 讶枢恕掩篮挠浚截灾陶毫肺佬妙垒扑找魏吃钦滓邓漆旨线馅庚煌共罕泞疯1 薄膜制的真空技术基础1 薄膜制的真空技术基础 工作原理： 将油加热至高温蒸发状态(约200℃)，让油蒸气呈多级状向下定向高速喷出时不断撞击气体分子，并将部分动量传给这些气体分子，使其被迫向排气口方向运动，在压缩作用下被排出泵体。 适用范围： 1-10-6 Pa 缺点：油蒸气的回流 （解决方法：冷阱） 胎邱花拿桩氢告藻挪辫寅果够滨磺丙九托倡般度骚镭合河闪浊早熊叁辟持1 薄膜制的真空技术基础1 薄膜制的真空技术基础 工作原理： 高速旋转的叶片（2000-3000r/min）将动量传给气体分子，并使其向