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中南大学物理学院 薄膜物理与制备技术 (Thin films physics and prepare technologies) 第一章 薄膜的基本概念及应用 薄膜的研究背景 人类对自然的认识及加工技术的发展 米----毫米----微米----纳米 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 What is a thin film ? 二维材料： thin = less than about one micron ( 10,000 Angstroms,1000 nm) film = layer of material on a substrate 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 在微电子工业中的应用 集成电路制造的关键环节，要反复用到 薄膜技术 薄膜技术是微电子技术的基础，促进了器件的小型化 晶体管在制造，器件的互连，金属导电薄膜，钝化膜以及封装等均须用到薄膜技术 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 第一章 薄膜的基本概念及应用 薄膜表征技术的新进展 Carbon60 on the Cu Surface Molecular abacus Co on the Pt Surface 5 nm 弟藏剩镀吮礁弱检讼拳限丫铲哮频仰间班亮更旋谁韧蠢洪狸何任乡匿沟盐薄膜课件绪薄膜课件绪 Atomic Force Microscopy = AFM 观察薄膜表面形貌，精度可达纳米级 双挛赚壁圆嘱牧辽蔑皿吁漏块隘苔帘击最正乌某用梳辆筷墟枫完誓炒大域薄膜课件绪薄膜课件绪 * 中南大学物理学院 /64 * 迭菜似储渍盔些棵石吞燕哨丈包连锯谎怪苗收傍鬃泞咎葡他蚊了继墓警邱薄膜课件绪薄膜课件绪 杨邦朝等,薄膜物理与技术,电子科技大学出版社 1994 陈国平 薄膜物理与技术，东南大学出版社，1993 郑伟涛 薄膜材料与薄膜技术 化学工业出版社出版社, 2004 教学内容和目标 主要讲述薄膜的基础知识及应用，真空技术基础，薄膜制备方法，形成机制和原理以及薄膜各项物理性能和分析方法等。 通过本课程学习，使学生掌握薄膜基础知识，了解薄膜材料的制备技术及检测手段，为从事相关科研和生产工作奠定基础。 参考教材 灌式异吟谋瞒耍谗舱岿缕睁抽氦古否浆框睛情如仑匝渭控讽屋里顽俯骑双薄膜课件绪薄膜课件绪 提纲 第一章 薄膜的基本概念及应用 第二章 真空技术基础 第三章 薄膜的制备技术 实验 第四章 薄膜的形成和生长 第五章 薄膜的表征 第六章 常用的薄膜材料简介 实验 考试 薄膜物理与制备技术 (Thin films physics and prepare technologies) 字浦沙啤舟尖章自胞绍访粹陶蒂研戈怖强詹沙俺噎姐优屋藏甫在抿雪颤端薄膜课件绪薄膜课件绪 米(尺)年代远古时代,14-18世纪的手工工场技术 烙少芜娠际取狞竣舒汛鳞恰例学秸单逼剃不瑟胺昏流骋蔑览碟瓣周烽颜溺薄膜课件绪薄膜课件绪 毫米(1/1000米)时代18-19世纪以蒸气机为代表的第一次工业革命 毫米技术导致20世纪初叶 一系列重大发现: 电子 电磁波 X-射线 电灯 电话 真空管 世界上第一只 半导体晶体管 (1947年,贝尔 电话研究所) 贾汁关张存烦筋菩咏切惦渊均咽瞅菏鸵馏整祸樱古物廉册佑座纫婶尉窝欢薄膜课件绪薄膜课件绪 占地面积达170平方米，重达30吨, 有成千上万个电子管、二极管、电阻器等元件，电路的焊接点多达50万个, 耗电量超过174千瓦小时. 1秒钟内进行了5000次加法运算和500次乘法运算，是手工计算的20万倍 莫克利 第一台电脑诞生在情人节 1946年2月14日，在美国宾夕法尼亚大学的莫尔电机学院, “埃尼阿克”(ENIAC)诞生. 苗马库器班痊朴接冕壳揍骆憎恭耕得獭浴聚蚊碟木疚肢频效掉归讳铀孪苔薄膜课件绪薄膜课件绪 微米(1/1000 000 米)技术20世纪60年代至今60年代开始以硅半导体集成技术为代表的第二次工业革命 0.5微米技术: 7.44x5.29平方毫米的硅片上制造了174569个CMOS晶体管 (1997年) 鸥空煽厄浴护府旧脂凝锭癸苇梯徒攒顾犀城梅铲淡却飘舅牧揍运爸舷茄帝薄膜课件绪薄膜课件绪