Chapter 2.1.Scanning electron microscopy重点.ppt

扫描电子显微镜构造示意图 2.1.2 构造 (4)图像显示和 记录系统 将信号收集器输出的信号成比例地转换为阴极射线显像管电子束强度的变化，这样就在荧光屏上得到一幅与样品扫描点产生的某一种物理讯号成正比例的亮度变化的扫描像，或者用照相的方式记录下来，或将信号用数字化形式存储于计算机中。  扫描电子显微镜构造示意图 2.1.2 构造 (5)真空系统  (6)电源系统   (1)放大倍数 扫描电镜的放大倍数 M=AC/AS  式中AC是荧光屏上图像的边长 AS是电子束在样品上的扫描振幅。 (2)分辨本领 与下面几个因素有关： 1)入射电子束束斑直径 扫描电镜分辨本领的极限 2)入射束在样品中的扩展效应 电子束打到样品上，会发生散射，扩散范围如同梨状或半球状。 散射程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低，入射束能 量越大，样品原子序数越小，则电子束作用体积越大。3)其他：信噪比、杂散电磁场和机械震动等。  2.1.2 性能 (3)景深 取决于分辨本领和电子束入射半角αc： F=d0/tgαc