7.静电防护与搬运全解.ppt

* HUAN YI 一. ESD 的定義與產生 二. ESD 的防治與處理 ESD : Electrostatic Discharge， 即我們所謂的〝靜電放電〞 ESD之三種型式： 1. 人體型式； 人體型式即指當人體活動時，身體和衣服之間的摩 擦電荷。若人們手持ESD敏感的裝置而不先洩放電荷到 地，摩擦電荷將會移向ESD敏感的裝置而造成損壞；微 電子器件的主要破壞都是由此型式所造成。 2. 微電子器件帶電型式； 微電子器件帶電型式即指這些ESD敏感的裝置，尤 其對塑膠料件，當在自動化過程中，會產生摩擦電荷， 而這些摩擦電荷通過低電阻的線路非常迅速地洩放到高 度導電的牢固接地表面，因此造成損壞。 3. 場感應型式。 場感應型式即指有強電場圍繞，這可能來之於塑性 材料或人的衣服，會發生電子極化跨過氧化層。若電位 差超過氧化層的介電常數，則會產生電弧以破壞氧化層 ，其結果為短路。 * HUAN YI * * * *