谐振式陀螺仪研究报告[精选].ppt

谐振式陀螺仪研究报告 MEMS陀螺仪工作原理 MEMS陀螺仪利用科里奥利力——旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。在空间设立动态坐标系,如右图。用以下方程计算加速度可以得到三项，分别来自径向加速、科里奥利加速度和向心加速度。 MEMS陀螺仪工作原理 如果物体在圆盘上没有径向运动，科里奥利力就不会产生。因此，在MEMS陀螺仪的设计上，这个物体被驱动，不停地来回做径向运动或者震荡，与此对应的科里奥利力就是不停地在横向来回变化，并有可能使物体在横向作微小震荡，相位正好与驱动力差90度。MEMS陀螺仪通常有两个方向的可移动电容板,如图。径向的电容板加震荡电压迫使物体作径向运动（有点象加速度计中的自测试模式），横向的电容板测量由于横向科里奥利运动带来的电容变化（就象加速度计测量加速度）。因为科里奥利力正比于角速度，所以由电容的变化可以计算出角速度。 MEMS陀螺仪的结构 绝大多数MEMS陀螺仪依赖于由相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。振动物体被柔软的弹性结构悬挂在基底之上。整体动力学系统是二维弹性阻尼系统，在这个系统中振动和转动诱导的科里奥利力把正比于角速度的能量转移到传感模式，如图。 MEMS陀螺仪的结构 一般的微机械陀螺仪由梳子结构的驱动部分和电容板形状的传感部分组成。有的设计还带有去驱动和传感耦合的结构。 MEMS陀螺仪的特点及分类 目前, 世界上许多研究单位、公司都在结合自己国内的加工手段及信号检测措施对微机械陀螺展开研究。微机械陀螺的种类很多, 按驱动方式可分为静电驱动陀螺、电磁驱动陀螺和压电驱动陀螺等;按检测方式可分成电容式陀螺、谐振式陀螺、压阻式陀螺、压电式陀螺、光学陀螺和隧道陀螺等。相比于其他类型的微机械陀螺, 谐振式微机械陀螺具有高灵敏度、大动态范围等特点, 其准数字输出也使其更易于与数字信号处理系统集成。 谐振式陀螺仪工作原理 微机械谐振式陀螺仪的结构主要分成 3大块: 陀螺质量块、杠杆传递部分和谐振器。其中,陀螺质量块用于敏感输入角速度,杠杆传递部分是用来放大哥氏(Coriolis)力,谐振器主要是把陀螺质量块输出给它的轴向哥氏力转化成相应的频率输出。 国外研究状况 美国研究现状 日本研究现状 欧洲研究现状 美国研究现状 Northrop, Honey well等公司和斯坦福大学等都是赫赫有名的研究机构。比较具有代表性的是 Northrop公司。如今,其生产的光纤陀螺产品有 FOG200, 600, 1000, 2500等系列 ,分为导航类、 战术类、 民用航空类和太空类 ,应用在陆地、 海洋、 太空等领域 ,精度为 1 ° /h～0 . 001 ° /h,既有单轴结构 ,也有双轴、三轴结构。 日本研究现状 其主要的研究机构有东京大学尖端技术室和日立、住友电工、三菱、日本航空电子工业 (JAE)等公司。其最重要的贡献在于简化了干涉型光纤陀螺的系统配置 ,大大地降低了系统成本 ,使光纤陀螺的民用范围得到很大的扩展 ,例如:用于汽车导航系统、 清洁机器人、光罗盘、农用直升机姿态控制系统等。 欧洲研究现状 法国IxseaSAS公司发布了当今最小的、基于光纤陀螺的惯导系统 ,该系统为全球定位系统、多普勒测速器、声纳定位系统预留接口。它生产的IMU120使用的光纤陀螺偏置稳定性达到0.003°/h,精度最高的光纤陀螺随机游走精度达到0.00015°/ h。 德国LITEF公司产品应用领域涵盖太空、空中、陆地和水中和军用、民用范围。 Fizop tika公司是俄罗斯的一家生产光纤陀螺的公司,发明了用于微型光纤陀螺的技术,它将所有的光学元件并列放置,元件之间没有光学的连接,用这种技术生产的光纤陀螺尺寸小、功耗低,能够降低成本,提高可靠性,在俄罗斯国内外颇有市场。 国内研究状况 日前,北京长城计量测试技术研究所惯性技术研究室对电子十三所和中科院上海微系统所研制的国产硅微机械陀螺仪开展了比对测试工作,依据《国产硅微机械陀螺仪测试大纲 》,对两家比测单位提供的几只陀螺仪进行了全部的参数测试和环境试验 (主要是振动和冲击),并负责编制了《国产硅陀螺仪测方法及计划》。这标志着我国硅微机械陀螺仪越来越标准化，有利于我国陀螺仪行业的发展和进步。 未来展望 最近几年，陀螺仪已经在汽车的稳定控制系统、GPS获得越来越多的应用。在消费电子领域，摄像机、数码相机的图像防抖也是陀螺仪很有前途的应用。分析家预计，仅MEMS陀螺仪的市场就将从2006年的4亿美元增长到2012年的12亿美元。随着工业和消费类机器人的发展，陀螺仪将有望在这两个市场大显身手。在自动化流水线上，陀螺仪有助于提高自动化程度。 谐振式陀螺仪 基于谐振敏感原理, 设计了硅微谐振陀螺, 它具有直接的准数字式频率输出、高灵敏度、参数设计灵活等