06 激发化学-10-2-24精品课件.ppt

第六章 材料激发化学 等离子体化学 光化学 6.1 等离子体化学6.1.1 等离子体 如果给物质施加显著的高温或通过加速电子、加速离子等给物质加上能量，中性的物质就会被离解成电子、离子和自由基。不断地从外部施加能量，物质被离解成阴、阳荷电粒子的状态称为等离子体。 等离子体：由电子、原子、分子、离子组成的集合体。其中正电荷总数等于负电荷总数。 将物质的状态按从低能到高能的顺序排列为固体、液体、气体、等离子体。 等离子体是具有化学反应性的，表现出与其他物质状态不同的特异性能的气体，也称为物质的第四态。 满天星斗都是高温的完全电离等离子体。据印度天体物理学家沙哈(M·Saha，1893-1956)的计算，宇宙中的99.9%的物质处于等离子体状态。而地球是例外的温度较低的星球。 自然界中的等离子体，包括太阳、电离层、极光、雷电等。 在人工生成等离子体的方法中，气体放电法比加热的办法更加简便高效，诸如荧光灯、霓虹灯、电弧焊等等。 产生辉光放电 通过混合气体中加直流电压、或射频电压，混合气体中的电子被电场加速，穿过混合气体，与气体原子或分子碰撞并激发他们，受激的原子、或离子返回其最低能级时，以发射光（或声子）的形式将能量释放出来。 不同气体对应不同的发光颜色。 初始阶段AB： I=0 无光放电区 在一般情况下，气体基本处于中性状态，只有极少量的原子受到高能宇宙射线的激发而电离，在没有外场的情况下，这些被电离的带电离子与气体分子一样，在空间作杂乱无章的运动。当有外场时，因电离而产生的离子和电子将作定向运动，其运动速度随电压的增加而加快。当电极之间的电压足够大时，带电粒子的运动速度达到饱和值，上述所对应的电流将从零逐渐增加，直至达到某一极大值。这时再增加电压，而电流并不随着增加，这是因为电离量很少，又是恒定的，即使再提高电压，到达电极的电子和离子数目不变，所以宏观上表现出的电离是微弱的，且不稳定，此区导电而不发光，所以称无光放电区。 汤生放电区BC： I迅速增大 当电极间的电压继续升高时，外电路转移给电子和离子的能量也逐渐增加，电子的运动速度也跟之加快，电子与中性气体分子间的碰撞不再是低速时的弹性碰撞，而会使气体分子电离，产生正离子和电子（α作用），同时正离子对阴极的碰撞也将产生二次电子（γ作用）。新产生的电子和原有的电子继续被电场加速，在碰撞过程中有更多的气体分子被电离，使离子和电子数目雪崩式的增加，放电电流也就迅速增大。在汤生放电区，电压受电源高输出阻抗和限流电阻的限制而呈一常数。 过渡区CD： 离子开始轰击阴极，产生二次电子，又与气体分子碰撞产生更多离子 在汤生放电之后，气体突然发生放电击穿现象，电路中的电流大幅度增加，同时放电电压显著下降。产生这样的负阻现象是因为这时的气体已被击穿，气体内阻将随着电离度的增加而显著下降。 辉光放电区DE： I增大，V恒定 再增大电流，放电就会进入电压一定的正常辉光放电区。阴极的有效放电面积随电流增加而增大，而阴极放电区内的电流密度保持恒定。在这一阶段，导电的粒子数大大增加，在碰撞过程中转移的能量也足够高，因此会产生明显的辉光，维持辉光放电的电压较低，而且不变。气体击穿后，电子和正离子是来源于电子的碰撞和正离子的轰击，即使不存在自然电离源，导电也将继续下去。 异常辉光放电区EF： 溅射所选择的工作区 当整个以及均成为有效放电区域后，也就是整个阴极全部由辉光所覆盖之后，只有增加功率才能增加阴极的电流密度，从而增大电流，也就是说放电的电压和电流密度将同时增大。 弧光放电： I增大，V减小 增加电源功率，电流迅速增加 随着电流的继续增加，放电电压将再次突然大幅度下降，电流急剧增加，这时的放电现象开始进入电弧放电阶段。发出强烈的弧光。 无论在稀薄气体、金属蒸气或大气中，当电源功率较大，能提供足够大的电流（几安到几十安），使气体击穿，发出强烈光辉（弧状白光），产生高温（几千到上万度），这种气体自持放电的形式就是弧光放电。 6.1.4 等离子体的特征 1. 等离子体的整体特征 等离子体是一种导电流体。在外加电压下，阴、阳电粒子流动会产生电流。 2. 等离子体的准电中性 具有变成为电中性的强烈倾向，故离子和电子的电荷密度几乎相等，是带相反电荷粒子间的强电作用的结果。 3. 等离子鞘层 在直流或低频辉光放电中往往发生局部等离子体不满足电中性情况，特别是与等离子体接触的固体表面附近，由于电子附着，基板形成负电位，在其表面附近的等离子体中正离子的空间电荷密度增大。 这种空间电荷分布称作离子鞘。由此形成的空间称作等离子体鞘层。所有等离子体与固体接触时都会在固体表面的交界处，形成一个电中性被破坏了的空间电荷层，赋予了等离子体对材料表面处理时的活性。 6.1.4 等离子体的特征 4. 等离子体