ESD防护办法.docx

ESD防护作业办法 管理体系---三阶文件 文件编号： PR-RD-0004 版 次： 00　 制定日期： 2015-7-8　 制定部门： 工 程 部　 核准审核作成　文件制/修订记录序号日期修订章节及内容版次提出人/部门12015.7.8初版发行00 刘素芸1.目的1.1明确ESD敏感电子元件静电防护的重要性及各相关部门对产品静电防护的职责权限.1.2规范EOS/ESD相关设施之操作、维护、控制及测试方法与点检频率,以保护静电敏感元件,从而保证产品出货品质,满足客户需求.2.适用范围 适用于ESD敏感电子元件相关制造,测试,存储及相关设施操作,控制与维护之领域。3.定义3.1 静电释放(ELECTROSTATIC，DISCHARGE)即静电电荷在不同电势的物品或表面之间转移的过程3.1 静电损伤(ELECTROSTATIC，OVERSTRESS)即器件接受静电释放时,其特性产生变化,通常性能变差，但未完全失效。4.职责权限4.1人力资源4.1.1电工 ①设备干/支接地装置架设与安装. ②静电防护干/支接地装置架设与安装③接地装置干线检测与维护.4.2生产部 ①新人上岗ESD静电防护培训与考核. ②静电手环日常点检/记录. ③工作区域之EOS/ESD设施的日常维护.④车间静电区域的设施检测、标识与维护.4.3品保部4.3.1 IQC ①进料检验区静电防护需求提出. ②对ESD敏感电子元件进料检验. ③新人上岗ESD静电防护培训与考核. ④IQC静电进料检验区域的设施检测、标识与维护.4.3.2 IPQC①开线前相关设备,烙铁及特殊制程（静电防护）静电防护点检.②现场稽核,确保所有静电防护设施之EOS/ESD状态均在规范之中.③新人上岗ESD静电防护培训与考核.④车间静电区域所有设施检测与异常提报.4.3.3 FQC ①出货检验区静电防护需求提出. ②对ESD敏感电子产品出货检验. ③FQC静电检验区域的设施检测、标识与维护.4.4 PMC4.4.1仓库 ①静电防护需求提出.②负责静电敏感零件的储存与防护.③新人上岗ESD静电防护培训与考核.④仓库静电区域的设施检测、标识与维护. 4.5工程部4.5.1样品制作 ①静电防护需求提出.②负责样品制作时静电敏感零件的防护. ③新人上岗ESD静电防护培训与考核. 4.5.2生技课①仓库、进料检验区、车间所有静电设施的安装与维护.②车间所有设备接地支线安装与维护.③工作台及附属静电防护装置支线安装与维护.5.程序内容5.1 设备接地及静电防护需求评估与提出5.1.1设备包括各类生产及测试设备等必须要有专用导线与接地线相连；5.1.2烙铁或特殊制程（静电防护）工治具等必须要有专用导线与接地线相连；5.1.3接触静电敏感元器件的工作台,检验桌,修理桌等,表面必须覆盖导电性桌垫(静电胶皮),且必须有专用导线与接地线相连;5.1.4单独架设静电防护接地线,用来构成连接带有静电电荷的人或物体与大地之间通路.5.1.5凡对ESD防护敏感元件，样品/半成品/成品或设备进行操作的工作区域要建成ESD防护区域，储存及运输必须采用防静电作业(如：防静电袋/防静电手套/防静电服/防静电鞋)，且静电防护工作区域需做标识。标识如附件。5.1.6各单位需根据客户或产品静电防护要求,参照制程需求,以联络单形式向人力资源部提出架设静电防护装置.5.2 设备接地及静电防护安装5.2.1 根据设备接地及静电防护需求,各类接地干/支线由人力资源部电工负责安装完成.5.2.2根据设备接地及静电防护需求,参照需求联络单,各单位制程中增加静电防护装置,人力资源部电工负责安装完成.5.2.3 ESD防护工作台(工作区)应具备的特点： ①由静电耗散材料(防静电胶皮)制成的工作台面(表面阻抗：正面106Ω～109Ω，反面≦104Ω)且接地状况良好防静电胶皮需设有接地线, 装接地扣且每两者之间最大距离为2M-2.5M，同时接地扣背面需用绝缘胶布粘贴以作保护). ②静电安全工作台上没有不必要的静电产生器(如：塑料，玻璃，橡皮等)，电子组装设备要用合适的三相插头接地,且不小于2个ESD接插口，ESD地线要求≧1.25mm2. ③装ESD零件之容器要用ESD防护材料制作。(如:防静电盒,静电棉等) ④操作现场必须使用的不具静电功能的工具、夹具，应放在防静电桌垫上.5.3 设备接地及静电防护检测与确认5.3.1静电干线、静电支线、设备以及其它静电设施（如：防静电服/防静电鞋）等，检测频率、检测方法与检测单位如下表所示，各责任单位必须严格执行，并准确记录，记录表单由各单位保存。5.3.2烙铁接地电阻及漏电电压每天均测试一次，如果当天有更换烙铁，在新烙铁上