高真空的获得和检漏..docVIP

高真空的获得和检漏 11系07级 昝涛 P实验目的： 1、用机械泵、扩散泵机组获得高真空 2、用静态升压法和氦质谱法检漏，并对比两种方法的特点. 实验原理： 1、 高真空的测量——电离真空规 具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离.产生正离子和电子，电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p，故产生的正离子数N＋正比于压强p.规管的结构如图2.6.3-l所示,它主要由发射电子的热阴极（灯丝）、加速并收集电子的加速极和收集离子的收集极等三部分组成.其接线图如图2.6.3－2所示,规管中心热阴极F接零电位,为UK为热阴极加 热电压；加速极G接正电位UG（几百伏）;离子收集极接负电位UC（几十伏）,其作用是使由阴极F发射的电子,在加速电位UG的作用下,飞向G极使电子能量增加,大部分电子通过加速极G飞向圆筒型收集极C,电子轨迹如图2.6.3－3所示,在G、C之间拒斥场的作用下电子减速，在速度减到零时，电子返转飞向G，在电子飞向G、C空间时,电子又在拒斥场作用下减速,直到速度为零又返向G极，向G、C方向飞行.电子在这种返往运动中与气体分子不断发生碰撞，把能量传给气体分子，使其电离,而电子最终被加速极所收集；在G、C间产生的正离子被收集极C接收形成离子流，此离子流被外电路中的微安计测得。 对于一定结构的规管，当各电极电位一定时，对某种气体，在规管中电离所形成的正离子流I+正比于发射电子电流Ie和气体的压强p，即 I+=KIep 其中比例常数K称为电离计的灵敏度，其意义是在单位电子电流、单位压强下所得到的离子流，其单位为1／Pa，K值多通过实验测得.在实际测量中,规定发射电流Ie等于常数.对于不同气体,K值也不同,通常所指的灵敏度是对于干燥空气或氮气而言. 普通型热阴极电离规的测量范围为1.33X10－1~1.33X10-5Pa,超出此范围,离子流与压强便不再是线性关系而不能进行测量. 2、静态升压法 在高真空系统，漏孔或漏隙用肉眼一般是看不出来的我们通常采用静态升压法,即把系统抽到一定压强后,关闭阀门，将被检部分与泵隔开，由于漏气和表面放气,被检部分的压强将随时间而上升，用电离真空计或复合真空计和秒表,测出p－t关系曲线,由曲线形状,我们可以判断系统是否漏气，如图2.6.3－4听示. 图2.6.3-4 压强随时间的变化 l）直线a平行于t轴，说明压强是恒量,它不随时间而变化,表明系统既无放气也无漏气. 2）曲线b开始上升较快 而后渐渐变成平行于t轴的直线.这说明系统只有放气而无漏气,气压较低时放气速率较大,达到某一气压值时,放气速率和吸气速率相等，达到平衡,曲线即趋于水平直线. 3)直线c是一斜率为的直线.这说明系统只有漏气,系统的漏率为 Q漏=V 式中V是被检容器的体积. 4）曲线d开始上升较快,而后渐渐减慢,最后变成直线.这说明系统既有放气也有漏气.曲线d是b和c的叠加. 一个真空系统（或容器）要做到绝对不漏气是不现实的.只要漏孔的漏率足够小,使得平衡压强低于真空系统工作所需要的压强，这些漏孔就是允许的.真空系统正常工作所能允许的最大漏气量，称为最大允许漏率，简称允许漏率. 实验仪器：FZH-2B型复合真空计，DM-300型真空镀膜机，水泵，秒表 实验步骤： 开总电源 低阀拉出，开机械泵，抽钟罩 打开复合真空计电源，接通热偶计，对钟罩抽至1.3pa（V1位置） 接通扩散泵冷却水，低阀推进抽系统，开扩散泵加热，40分钟后开高阀 待真空度超过0.13pa时，开电离计，低真空转至扩散泵前级测量 抽至电离计指针基本不动，除气 烘烤8分钟，关闭 抽至极限真空度后，关高阀，测P-t曲线 测量完毕关闭电离计，关扩散泵 10、待扩散泵冷却至室温，将低阀拉出，关机械泵 11、关总电源，切断冷却水 12、数据处理 数据处理： 放气时压强随时间的变化见下表: t/s 0 5 10 15 20 25 30 p/pa 0.9 1.6 2 2.5 2.9 3.3 4 t/s 30 35 40 45 50 55 60 p/pa 4.4 4.8 5.3 5.8 6.2 6.8 7.4 t/s 65 70 75 80 85 90 p/pa 7.9 8.4 8.9 9.4 10 11 Linear Regression for Data1_B: Y = A + B * X Parameter Value Error ------------------------------------------------------------ A 0.