第4章 激光干涉测试技术14295376（参考）.ppt

* * ③ 激光外差干涉在精密定位中的应用 图4-35 平面镜干涉系统光路图 图4-36 平面镜干涉系统倾斜光路图 该干涉仪系统有以下两个特点： (1)仪器分辨力由于多普勒频差增加一倍 而增加一倍；(2)平面反射镜相对于光轴的任何偏斜只 会使反射回的光束偏移，而不会偏斜. * * §4-5 激光移相干涉测试技术 5.1 激光移相干涉测试技术原理 参考波前为： 被测波面的波前为： 被测镜 参考镜 激光移相干涉光路原理图 PZT 干涉条纹的光强分布为: L是参考面和被测面到分束板的距离 W(x,y)是被测波面(位相)。 li 是压电晶体带动参考镜作正弦振动的瞬时振幅 * * 对被测波面上所有的点，I(x, y, li)是 li 的余 弦函数。将其针对 li 按傅立叶级数形式展开有: 再将I(x, y, li)按三角函数展开有: 上两式比较可得： 式中存在a、b、W(x, y)三个未知量，要从方程中解出W(x, y)，至少需要移相三次，采集三幅干涉图。 * * 对每一点(x, y)的傅立 叶级数的系数，还可以用 三角函数的正交性求得： 为便于实际的抽样检 测，用和式代替积分： n为参考镜振动一个周期中的抽样点数 * * 于是，可得： 特殊地，取四步移相，即n = 4，使 得: * * 为了提高测量的可靠性 ，消除大气湍流、振动及漂 移的影响，可以测量傅氏级 数的系数在 p 个周期中的累 加数据，用右式来求。 从最小二乘法意义上看，上式所表达的傅 里叶系数是波面轮廓的最好拟合。得： 在被测表而上任意点(x, y)的波面W(x, y)的相对位相是由在该点的条纹轮廓函数的n ? p个测定值拟合计算得到的。 * * 5.2 激光移相干涉测试技术的特点 2）可以消除干涉仪调整过程中及安置被测件的 过程中产生的位移、倾斜及离焦误差(数字化 处理)； 1）激光移相干涉测试技术原理上采用上述最小 二乘法拟合来确定被测波面，因此可以消除 随机的大气湍流、振动及漂移的影响，这是 这种测试技术的一大优点； * * 3）可以大大降低对干涉仪本身的准确度要求。波面位相信息是通过计算机自动计算、存贮和显示的。这就在实际上有可能先把干涉仪系统本身的波面误差存贮起来，而后在检测被测波面时在后续的波面数据中自动减去，使干涉仪制造时元件所需的加工精度可以放宽。当要求总测量不确定度达到?/100时，干涉仪系统本身的波面误差小于? 就可以了。 * * 5.3 激光移相干涉测试技术应用例 面阵探测器 可变衰减器 偏振分光镜 检偏器 激光器 压电晶体 1/2波片 1/4波片 被测表面 齐明镜组 1/4波片 图4-39 激光移相干涉系统光路图 性能： 测量点数：1024点 测量平面最大直径为125mm 测量不确定度达 ?/100 * * 激光器 偏振片 CCD 渥拉斯顿棱镜 1/4波片 被测面 图4-40 采用移相干涉技术的微分干涉仪 Δx 设渥拉斯顿棱镜的剪切方向为x，则干涉场上的光强分布为： I(x,?) = I1 + I2sin[2? + ?(x)] 微分干涉图像中的光强不仅与被测相位有关，而且还与检偏器方位角? 有关，因此，可以通过旋转检偏器对微分干涉图象进行调制，采用移相干涉技术直接测量被测相位的分布。 与压电晶体移相干涉方法相比，这种旋转检偏器移相的方法不存在非线性、滞后(PZT)和漂移(共光路)等问题，具有很高的测量准确度。 * * §4-7 纳米技术中的干涉测试技术 引言： 1982年扫描隧道显微镜(STM)的发明使人类第一次观 察到了物质表面的单原子排列状态。此后，相继出现了一 系列新型的扫描探针显微镜：原子力显微镜(AFM)、激光 力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)、弹道电子发射显微 镜(BEEM)、扫描离子电导显微镜(SICM)、扫描热显微镜 (STP)、光子扫描隧道显微镜(PSTM)、扫描近场光学显微 镜(SNOM)等，远远超出了光学方法已经取得的成就。 现代扫描显微镜技术吸取了光学技术的精华，PSTM 利用光纤探针和全反射时的隐失场，横向分辨率达到?/10 ，垂直分辨率也在纳米数量级；SNOM则使用小孔光天线 ，分辨率突破了瑞利限制，已经达到了?/10数量级。 * * 除 PSTM、SNOM 直接使用光学原理工作外，其 它扫描显微镜常常用光学方法作为位移传感器，干涉 方法是主要的手段。 这类干涉仪不同于一般的位