第2章 激光干涉测量技术2（参考）.ppt

激光外差干涉测量技术 3 塞曼（Zeeman）双频激光干涉仪 两次从真空室内通过的光束在1/4波片3上通过两次，相当于通过一次1/2波片。如果1/4波片的方向合适就可使偏振面转过90o。 真空室内外两束光在分光器上重新会和后，又在偏振分光棱镜1上分光。 ν 光路原理： 激光外差干涉测量技术 3 塞曼（Zeeman）双频激光干涉仪 同方向的振动被分到一个光电接收器8上形成拍频。得到两路测量信号[(ν1-ν2)+?νn]和[(ν1- ν2)-?νn]，?νn为抽气造成的Doppler频移。 它们经过锁相倍频和计数卡后，送入计算机计算求出待测空气折射率。 ν 光路原理： 激光外差干涉测量技术 3 塞曼（Zeeman）双频激光干涉仪 测量过程与原理： 打开真空泵开关，测量过程开始，这一瞬间真空室内的空气折射率就是要测量的量值，以nm表示。 真空室内的空气被抽空后折射率变为1。而在这两个时刻之间的任意时刻真空室内的空气折射率都是介于nm和1之间的数值，用n表示。 ν 激光外差干涉测量技术 3 塞曼（Zeeman）双频激光干涉仪 测量过程与原理： 某一中间时刻，由于抽气造成的Doppler频率变化为： 激光外差干涉测量技术 3 塞曼（Zeeman）双频激光干涉仪 注：当真空室内抽成真空后，如果真空室外的空气折射率发生变化，干涉仪可以立即反映出这种变化，做到“实时”测量。这种双频激光干涉测量出的空气折射率不但包含了空气的温度、压力、湿度的影响，而且在空气中混有其他气体及有机溶剂的挥发物时，也照样可以精确测出折射率。 激光外差干涉测量技术 3 声光调制双频外差干涉仪 为什么要用声光调制双频器件？ 双频激光器由于受激光频率牵引效应的限制，所能产生的频差?f约为1.5~2.0MHz,所测物体的移动速度不能大于300mm/s，因此，限制了被测物体的运动速度，这是双频激光器件作为外差测量时的不足之处。为了扩大测量范围，就必须寻找能产生更大频差的双频器件，下面介绍一种能产生几十兆赫的声光调制双频器件及干涉仪。 激光外差干涉测量技术 3 声光调制双频外差干涉仪 声光调制器原理 图2.25为声光调制器产生双频激光的工作原理图。 由超声信号源1及功率放大器2驱动超声转换器3发出一超声波，通过介质4（熔石英等）传播； 引起介质折射率n发生正弦形的疏密变化，其变化的周期等于超声波的波长λs,也就是说，此时传播介质已变成折射率以λs为周期疏密变化的正弦光栅。 激光外差干涉测量技术 3 声光调制双频外差干涉仪 声光调制器原理 图2.25为声光调制器产生双频激光的工作原理图。 当一束细的平行激光束入射这样的介质时，入射光受到衍射调制，其零级光束的频率与入射光频率f0相同，而正一级和负一级光束的频率分别为f0+fs和f0-fs 。 正二级和负二级的频率分别为f0+2fs和f0-2fs ，其余衍射级次光束的频率以此类推。 激光外差干涉测量技术 3 声光调制双频外差干涉仪 声光调制器原理 图2.25为声光调制器产生双频激光的工作原理图。 因此，通过声光调制器可以把入射光频率变成具有一定频差的一系列光束，并能在空间彼此分开 采取适当措施可以把零级和正一级以外的光束加以限制，而只让零级和正一级两种光束通过并射入干涉系统。 这样，调整超声波信号源的频率fs,就可得到所需要的外差拍频光束。 * 上一节理论课： 课程内容简介-激光干涉测量长度和位移 激光干涉测长原理：L=Kλ/2。 激光干涉仪组成：激光干涉仪光路系统、干涉条纹计数和处理测量结果的电子系统及机械系统。 激光干涉仪光路系统：主要包括光源、分束器和反射器。 干涉条纹计数和处理测量结果的电子系统：移相器、干涉条纹计数及判向原理。 干涉仪应用：激光比长仪、激光跟踪干涉仪、激光小角度干涉仪 今天主讲内容： 激光外差、移相、散斑、光纤干涉测量技术 回顾 激光干涉测量长度和位移 2 激光干涉测长的应用 1、激光比长仪 激光比长仪采用激光器作光源，通过光波干涉比长的方法来检定基准米尺，即通过激光干涉仪实现基准米尺和光波波长比较。由于激光波长具有高度的稳定性，其复现精度可达±5x10-8以上，所以可用激光波长作长度基准。同时，激光干涉仪的输出信号易于实现光电转换，这样就提供了实现动态自动测量的可能性，从根本上解决了检定基准米尺的精度与效率的问题。 激光比长仪工作原理如下图所示。 激光干涉测量长度和位移 2 激光干涉测长的应用 1、激光比长仪 He-Ne激光器1发出的激光束经平行光管2后将光束变为光斑直径达φ50mm的平行光。 激光干涉测量长度和位移 2 激光干涉测长的应用 1、激光比长仪 经反射镜3和分光镜4后将光束分为两路。一路光透过分光镜经反射镜5射入固定角锥棱镜6，另一路光由反射器反射至可动角锥棱镜7。 激光干涉测量长度