电子能谱仪的一般构造电子能谱仪一般由超高真空系统
4.4.1、半球扇型分析器(HSA、CHA) 原理:对应于同心半球内外二面的电位差值,只允许一种能量的电子通过,连续改变二面间的电势差值,就可以对电子动能进行扫描,获得电子强度与电子动能的关系- 即能谱图。 优点:具有双聚焦特点,透过率和分辨率都很高,加减速电场比较容易实现。 在电子收集端,可采用单通道和多通道电子倍增器,以提高分析速度。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 半球扇型分析器(HSA、CHA) 半球面静电能量分析器由内外半球组成,半径分别为R1和R2,在两半球上加上负电位。当被测电子以能量E0进入能量分析器的入口后,在两个同心球面上加控制电压后使电子偏转,在出口处的检测器上聚焦。 动能为 E0 = ?V.q.H的电子将沿半径为R0的圆形轨道行进。H为几何常数, 1/H = (R2 / R1 – R1 / R2)由于R0, R1和R2是固定的,改变V1和V2将可扫描沿半球平均路径运动的电子的动能。 半球面分析器由于球对称性,它有两维会聚作用,因而透射率和分辨率很高。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET
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