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　TCO（Transparent conducting oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是在平板玻璃表面通过物理或者化学镀膜的方法均匀镀上一层透明的导电氧化物薄膜，主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 　　TCO玻璃应用在透明导电电极、高温电子器件等领域，如太阳能电池、液晶显示器、光探测器、窗口涂层等。平板显示器中，现在ITO类型的导电玻璃仍是平板显示器行业的主流玻璃电极产品。 　　在太阳能电池中，晶体硅片类电池的电极是焊接在硅片表面的导线，前盖板玻璃仅需达到高透光率就可以了。薄膜太阳能电池是在玻璃表面的导电薄膜上镀制p-i-n半导体膜，再镀制背电极。 　　与光伏电池的性能要求相匹配的三种TCO玻璃： 　　ITO镀膜玻璃。一种非常成熟的产品，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点，初期曾应用于光伏电池的前电极。但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。 　　SnO2镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。通过对普通Low-E的生产技术进行升级改进，制造出了导电性比普通Low-E好，并且带有雾度的产品。利用这一技术生产的TCO玻璃已经成为薄膜光伏电池的主流产品。 ?　　氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好。预计会很快成为新型的光伏TCO产品。目前主要存在的问题是工业化大面积镀膜时的技术问题。 ITO、FTO、 AZO三种TCO玻璃，技术性能对比： ? 优点 缺点 ITO? （In2O3：Sn） 电导率高；透过率高； 膜层牢固 成本高；基板尺寸小；有 毒；激光刻蚀性能也较 差； FTO?（SnO2:F?） 膜层硬；化学和力学抵 抗性都很好 方阻大；透过率偏低 AZO? （ZnO：Al?） 原料易得，制造成 本低廉，无毒，易于实 现掺杂，性能指标好。 膜层偏软，镀膜后不能 钢化。产品刻蚀后存放 时间短。 ? ITO镀膜玻璃。一种非常成熟的产品，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点， 初期曾应用于光伏电池的前电极。但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。ITO应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳定，因此目前ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。 ? ? ? SnO2镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO 略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。通过对普通Low-E 的生产技术进行升级改进，制造出了导电性比普通Low-E好，并且带有雾度的产品。 利用这一技术生产的TCO玻璃已经成为薄膜光伏电池的主流产品。 ?? ? ?AZO氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜研究较为广泛，它的突 出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好。预计会很快成为新型的光伏TCO产品。 目前主要存在的问题是工业化大面积镀膜时的技术问题。? ??光伏电池对TCO镀膜玻璃的性能要求： ?1.光谱透过率?? ?? 为了能够充分地利用太阳光，TCO镀膜玻璃一定要保持相对较高的透过率。目前，产量最多的薄膜电池是双结非晶硅电池，并且已经开始向非晶/微晶复合电池转化。因此，非晶/ 微晶复合叠层能够吸收利用更多的太阳光，提高转换效率，即将成为薄膜电池的主流产品。 ?2. 导电性能 ?? TCO导电薄膜的导电原理是在原本导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素， 使半导体的导电性能发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。氧化铟锡（ITO）透明导电玻璃就是将锡元素掺入到氧化铟中，提高导电率，它的导电性能在目前是最好的，最低电阻率达10-5 Ωcm量级。? 3. 雾度 ?? ??为了增加薄膜电池半导体层吸收光的能力，光伏用TCO玻璃需要提高对透射光的散射能力，这一能力用雾度（Haze）来表示。雾度即为透明或半透明材料的内部或表面由于光漫射造成的云雾状或混浊的外观。以漫射的光通量与透过材料的光通量之比的百分率表示。 ???一般情况下，普通镀膜玻璃要求膜层表面越光滑