3章常用传感器讲解.ppt

核心：电荷耦合器件（CCD）。 多个单元以阵列形式排列在衬底材料上，每个单元是MOS电容器件（metal oxide semi-comductor）,能存贮光产生的信号电荷。 在P型Si衬底上沉积一层二氧化硅，然后再镀上一层金属，构成一只MOS电容器。 MOS器件结构 3.11 固态图像传感器 一个MOS电容器相当于一个像素。 光照下，光子透过透明电极及氧化层，进入P型Si衬底，生成光生载流子—电荷。 CCD阵列感受到各点光的强弱不一样，电荷就不一样。在外电场作用下，使电荷存贮在给定位置上，并能有序转移出去，由测量矩阵依次读出。 3.11 固态图像传感器 热轧铝板宽度的在线测量 两个线型CCD传感器1、2分别测量L1、L2，Lm已知，CCD 3用于补偿板厚变化带来的测量误差。 3.11 固态图像传感器 二维零件尺寸的在线检测 CCD摄像机逐行扫过零件的整个面积，零件轮廓形状被转换成逐行数据进行存贮。 3.11 固态图像传感器 3.12 传感器选用原则 选择传感器主要考虑灵敏度、线性范围、响应特性、稳定性、精确度、测量方式等六个方面的问题。 1、灵敏度 一般说来，传感器灵敏度越高越好，但在确定灵敏度时，要考虑以下几个问题。 a)灵敏度过高引起的干扰问题； b)量程范围。 c)交叉灵敏度问题。 3 响应特性 传感器的响应特性是指在所测频率范围内，保持不失真的测量条件。 实际上传感器的响应总不可避免地有一定延迟，但总希望延迟的时间越短越好。 2 线性范围 任何传感器都有一定的线性工作范围。在线性范围内输出与输入成比例关系，线性范围愈宽，则表明传感器的工作量程愈大。传感器工作在线性区域内，是保证测量精度的基本条件。 3.12 传感器选用原则 4 稳定性 稳定性是表示传感器经过长期使用以后，其输出特性不发生变化的性能。影响传感器稳定性的因素是时间与环境。 5 精确度 传感器的精确度是表示传感器的输出与被测量的对应程度。 6 测量方式 传感器工作方式，也是选择传感器时应考虑的重要因素。例如，接触与非接触测量、破坏与非破坏性测量、在线与非在线测量等。 3.12 传感器选用原则 3.1 电阻应变片与半导体应变片的工作原理有何区别?它们各有何特点? 3.2 何谓温度补偿?产生电阻应变片温度误差的原因有哪些? 3.3 某试件受力后，应变为2×10-3，已知应变片的灵敏系数为2，初始值120Ω，若不计温度的影响，求电阻的变化量ΔR。若电阻丝的温度系数α=-50×10-6Ω/℃，线胀系数β1=14×10-6/℃，试件的线胀系数β2=12×10-6/℃，当温度升高20℃时，试求因温度变化引起的相对误差。 3.4 某截面积为5cm2的试件，已知材料的弹性模量为2.0×1011 N/m 2 ，沿轴向受到105 N的拉力，若沿受力方向粘贴一阻值为120Ω、灵敏系数为2的应变片，试求出其ΔR。 3.5 将上题中的应变片接入题图的电路中，试求： 1)受力前电流表示值； 2)受力后电流表示值； 3)受力前后电流的变化能 否从电流表中读出。 思考题 3.6 一电容测微仪，其传感器的圆形极板半径r=4mm，工作初始间隙δ=0.3mm，介电常数ε=8.85×10-12F/m，试求： 1)工作中，若传感器与工件的间隙变化量Δδ=2μm，电容变化量是多少? 2)若测量电路的灵敏度S1=100mV/PF，读数仪表的灵敏度S2=5格/ mV，当Δδ=2μm时，读数仪表示值变化多少格? 3.7 电感式、差动电感式和差动变压器式传感器的工作原理及结构有何区别? 3.8 欲测流体压力，拟采用电容式、电感式和压电式传感器，试绘出可行方案原理图。 3.9 何谓压电效应?压电式传感器对测量电路有何特殊要求?为什么? 3.10 简述涡流式传感器的工作原理，它有哪些特点? 3.12 试述霍尔效应及其用来测量位移的原理。 3.13 磁电式速度计的工作原理如题图所示。齿轮随被测轴转动，已知齿数Z=60，求：当测得频率计感应电势频率f=2400Hz时，被测轴的转速(r/min)。 3.11 压电加速度传感器与电荷放大器连接的等效电路如题图所示。图中C为传感器固有电容、电缆等效电容和放大等效电容之和。已知传感器电荷灵敏度Sq =100PC/g,反馈电容Cf =1000pF，试求当被测加速度为0.5g时，输出电压是多少?(g为重力加速度) 压电效应 3.6 压电式传感器 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变