硅料、边皮料清洗培训（参考）.ppt

注意事项： 1、化学清洗剂的浓度及配比 2、清洗温度和清洗时间 3、做好作业过程中的安全防护 4、保持设备及工作环境整洁 影响清洗效果 边皮料自动清洗机 1、设备数量：一台，右进左出 2、材质：PP（聚丙烯）PVDF（聚四氟乙烯）SUS（耐腐蚀钢材）—— 耐化学腐蚀的特性 3、组成：机架，机械搬运部分（上下料台、移栽机械手），清洗主体，抽风系统，电控操系统 等 4、作用：清洗掉去头尾边皮料表面附着的污染物、金属离子、氧化物等 移载机械手 清洗篮 原辅材料： 原生多晶硅料、去头尾边皮料、氢氟酸（49%）、硝酸（65%）、氢氧化钠、盐酸（37%）、纯水、氮气 多晶硅块的基本特性： 熔点：1410℃ 沸点：2355℃ 硬度：7.0HRC（洛式硬度单位） 密度：2.33g/cm3 结晶构造：金刚石晶格 抗压值：＜ 300kN，易碎 块的外形尺寸：6-150mm,形状不规则 氢氟酸的基本特性： 理化性质： 氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，为无色透明液体。有刺激性气味。 对皮肤有强烈腐蚀性。对牙齿、骨骼损害较严重。对硅的化合物有强腐蚀性。蒸汽对呼吸道有损伤。 安全防护： 密闭操作，注意通风。防止蒸气泄漏到工作场所空气中。操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具，穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套，严防触及皮肤。 治疗： 不慎沾染用，“六氟灵”进行处理，并就医。 硝酸的基本特性： 理化性质： 分子式HNO?无色透明液体，有窒息性刺激气味。含量为68％左右，在空气中冒烟。有强氧化性，强腐蚀性。 安全防护： 1）呼吸防护：佩戴含防硝酸虑罐的防毒面罩。 2）手部防护：防渗手套，材质以Responder为佳。 3）眼睛防护：气密式化学安全护目镜、全面镜。 4）皮肤及身体防护：橡胶材质连身式防护衣，工作鞋 治疗： 不慎沾染，用“敌腐特灵”进行处理，并就医。 氢氧化钠的基本特性： 理化性质： NaOH水溶液为无色透明液体，呈强碱性，对纤维、皮肤、玻璃、等有腐蚀作用，溶解或浓溶液稀释时会放出热量；与无机酸发生中和反应也能产生大量热。 较浓的氢氧化钠溶液溅到皮肤上，会腐蚀表皮，造成烧伤。 安全防护： 操作人员工作时必须穿戴工作服、口罩、防护眼镜、橡皮手套、橡皮围裙、长筒胶靴等劳保用品 治疗： 不慎沾染，用“敌腐特灵”进行处理，并就医。 盐酸的基本特性： 理化性质： HCl溶液为无色或微黄色易挥发性液体，有刺激性气味，浓盐酸具有极强的挥发性。 盐酸具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。 安全防护： 密闭操作，注意通风。操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。配备泄漏应急处理设备。 治疗： 不慎沾染，用“敌腐特灵”进行处理，并就医。 硅料清洗工艺流程： 10#干燥 11#干燥 下料 上料 1#强酸腐蚀 2#纯水快排 3#HF酸洗 4#溢流漂洗 8#切水 7#溢流漂洗 6#纯水超声漂洗 5#纯水锁 9#干燥 备注：AUTO DOOR--自动门 LOAD--上料 DIwater--纯水 water lock--水锁 UNLOAD--下料 RT--常温 上(下)料台 料台材质：PP（白色） 移动方式：人工上下，自动进出料 自动门开关 ：感应料台位置 导向：导向到位提醒，不到位报警 第1#槽：强酸清洗（放热化学反应） 清洗介质：HF+HNO3（HF：HNO3=1：4.5） 清洗方式：旋转+循环+浸泡+冷却 清洗时间：30-60s 可依据清洗效果在此范围内适当调节。 清洗温度：10-40℃温控可调，副槽装有热交换器，用于稳定酸液温度；配“日菱”风冷式冷水机一台用于制备循环冷却水（自动控温程序，超出温度设定范围报警。槽内温度低于18℃时才可以上料。 ） 自动盖：对开气动密封盖 排液口装有可拆式过滤网，用于接收硅材料。配自动补液系统。 储酸槽材质：10mmPVDF（聚四氟乙烯） 第2#槽：纯水快排 清洗介质 ：纯水 清洗方式：旋转+溢流+鼓泡+快排 清洗时间：30-80S 触摸屏直接控制 清洗温度：常温 快排：φ100气动阀，排液口装有可拆式过滤网，用于接收硅材料（每天清理） 溢流： 排走 无自动盖 槽体材质：10mmPP 第3#槽：HF酸洗 清洗介质：HF 清洗方式：旋转 清洗时间：20-60s（0-99min）触摸屏直接控制， 清洗温度：常温 自动盖：对开气动密封盖 排液口装有可拆式过滤网，用于接收硅材料 槽体材质：10mmPP（德国） 此槽已屏蔽 第4#槽：纯水漂洗 清洗介质：纯水 清洗方式：旋转+溢流+鼓泡+快排 清洗时间：60-80S 触摸屏直接控制 清洗温度：常温 溢流： 排走 排液口装有可拆式过滤网，用于接收硅材料 槽体材质：10mmPP 第5#槽：纯水锁(过渡转运槽) 清洗介质：纯水 清洗方式：溢流漂洗，水下横移（链条输