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世界因我们而不同 开题报告 导师：欧文 研究员 报告人：刘谨 2012-3-12 无源无线压力传感器研究 内容提要 研究目标 提出一种CMOS兼容的无源无线传感器结构，通过谐振频率的变化来测量所受压力的变化。 无源无线传感器及耦合结构 选题背景：无源无线传感器—一种新型传感器技术 无源无线传感器是传感器家族的新成员，具有许多传统传感器不具备的优点： 与传统TPMS（轮胎压力传感器）相比，无源无线压力传感器无需把手持设备 插入气嘴，因而更加方便快捷。如果把RF芯片一同植入轮胎，可以实现在 驾驶途中获得轮胎的即时压力。 传统胎压测量仪器 无源无线TPMS传感器 国外研究情况 南加州大学和加州理工大学的实验人员设计了用来测眼内压力的无源无线传感器， 并已经成功植入小白鼠眼内获得实验数据，但使用了聚对二甲苯基等材料，与 CMOS工艺不兼容。 密歇根大学和中东大学的实验人员完成了在玻璃上制作电感然后与硅片键合形成 电容的设计，使用了电镀，键合等工艺，成品率比较低，工艺较复杂。 国内研究情况 研究单位 研究内容 重庆大学光电工程学院 无源无线声表面波叉指换能器 东南大学MEMS实验室 压力，湿度传感器 上海交通大学 RF MEMS 开关研究 北京大学微电子学院 射频电路模块和相关关键制造技术研究 国内大学无源无线传感器研究集中在声表面波传感器上，无源无线压力传