SPM的关键技术.docVIP

SPM的关键技术 先进的扫描探针显微镜（SPM）是集精密光学技术、精密机械、电子技术、信号处理技术、图像处理技术、自动控制技术和计算机技术于一身的系统，无论国内国外的SPM都是由微弱信号检测系统，扫描系统，控制系统组成。这些系统的功能和性能决定了一台商用SPM的性能。 微弱信号检测系统 1.1扫描隧道显微镜（STM） 当一根极细的金属针尖和导电样品间距离在纳米级时，在针尖和样品间施加一定的电压，由于隧道效应产生隧道电流，隧道电流与针尖样品间距呈负指数关系。隧道电流一般在纳安和亚纳安级，微小电流的检测技术就成为STM的关键技术之一。 1.2原子力显微镜（AFM） AFM是通过探测极细针尖和样品之间的作用力来检测针尖样品之间的距离。AFM的发展首先得益于能够探测微小力的微悬臂探针的发明，它是一端固定的悬臂梁，在它的自由端有一根极细的针尖，悬臂梁的弹性系数一般为0.03N/m~48N/m，针尖的曲率半径为几个纳米。 光杠杆技术：光杠杆技术将微悬臂受到原子间作用力而产生的埃级的位移放大几百到一千倍到光电探测器上，放大倍数由杠杆的长度决定。光电探测器再将激光光斑的移动转换成可测量的电信号，从而最终测量针尖样品间的皮牛级的作用力。 2.压电扫描器及非线性校正及标定技术 要实现SPM的XYZ空间的亚纳米级的分辨，不仅有微悬臂，还要有将针尖和样品精确的定位和移动在亚纳米级的器件。一般