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MKS Confidential * 现代电容式薄膜绝对压力传感器原理 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 在超高真空下的参考面 通过真空泵维持在高真空参考压力下 MKS Confidential * 一个完整的传感器 – 压力传感器 + 信号控制电路 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器(Manometer) 电子部件 满度调节 线形调节 零点调节 振荡器 参考 缓存 放大 电桥 输出 MKS Confidential * 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 现代电容式薄膜差压式压力传感器原理 至电子部件 隔膜 电子组件 测量面 参考面 MKS Confidential * 温度控制的薄膜压力传感器 – 范围及输出 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 零点压力 读数范围 可控范围 压力分辨率 举例：1Torr 满量程压力传感器 MKS Confidential * 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 温度控制的薄膜压力传感器系列 MKS Confidential * 零点、满量程及线性 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 显示压力 输出 零点 零点 失调 满量程 失调 线性 失调 调整的比例 真实压力 满量程 MKS Confidential * 误差 满量程 显示压力 读数值的%误差带 满量程的%误差带 满量程 真实压力 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 解决方法 降低温度依赖 非线性 滞后 非重复性 满量程温度系数 MKS Confidential * 零点调整 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 输出信号 用螺丝刀进行零点调整 或在显示/控制仪上实施零点修正 真空条件下 MKS Confidential * 600系列Baratron? 电容式薄膜压力传感器 满量程范围: 20mT ~ 25kT 精度: 读数值的 0.12% 分辨率: 满量程的 0.001% 温度控制: 环境温度, 45℃or 100 ℃ 温度系数 零点: 0.002% 满量程./°C 增益: 0.02% 读数值 /°C 两个继电器控制点可选 电源电压: ±15VDC 输出信号: 0 ~ 10V MKS电容式薄膜压力传感器系列 MKS Confidential * 631B 高温 Baratron 700 系列 Baratron? 电容式薄膜压力传感器 中等性能 价格便宜 紧凑型尺寸 满量程范围: 1T ~ 1000T 精度: 读数值的 ± 0.5% 温度控制: 环境温度, 45℃or 100 ℃ 电源电压: ±15VDC 或 +24VDC 输出信号: 0 ~ 10V 或 0~5V 890/892 压力传感器 满量程范围: 20 ~ 3000PSI 精度: 读数值的 ± 1% 电源电压: +13VDC ~ +32VDC 输出信号: 0 ~ 10V 0 ~ 5V 4 ~ 20mA MKS电容式薄膜压力传感器系列 基于以太网通讯的e-Baratron MKS Confidential * MKS电容式薄膜压力传感器系列 MKS Confidential * MKS电容式薄膜压力传感器电气连接 * The most frequently encountered configuration is the absolute manometer. The reference side evacuation and sealing process is very similar to that of an electron tube with the reference chamber thoroughly evacuated and degassed and with a getter pump to maintain the high vacuum during service. * Coupling the sensor capsule to the signal conditioner electronics produces a pressure transducer. That is, a device which converts a pressure input to a related electrical signal. In a typical capacitance manometer, the