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纳米级加工技术 郭耀梁 摘要：本文简要介绍了纳米技术的发展和定义，论述了纳米级加工及其采取的加工工艺方法和各自的主要特点。 关键词：纳米技术；纳米级加工；电子束加工；微电铸工艺；微细电火花加工 HYPERLINK /view/1714.htm纳米技术（Nanotechnology）,是用单个原子、分子制造物质的HYPERLINK /view/185129.htm科学技术。HYPERLINK /view/95095.htm纳米科学技术是以许多现代先进科学技术为基础的科学技术，它是现代科学（混沌物理、量子力学、介观物理、HYPERLINK /view/2461.htm分子生物学）和现代技术（计算机技术、微电子和HYPERLINK /view/381283.htm扫描隧道显微镜技术、核分析技术）结合的产物。 纳米技术的发展：1959年，著名物理学家、诺贝尔奖获得者理查德·费曼预言，人类可以用小的机器制做更小的机器，最后将变成根据人类意愿，逐个地排列原子，制造产品，这是关于纳米技术最早的梦想。20世纪70年代，科学家开始从不同角度提出有关纳米科技的构想，到了1982年，科学家发明研究纳米的重要工具——扫描隧道显微镜，揭示了一个可见的原子、分子世界，对纳米科技发展产生了积极的促进作用。1990年7月，第一届国际纳米科学技术会议在美国巴尔的摩举办，标志着纳米科学技术的正式诞生。 1991年，碳纳米管被人类发现，它的质量是相同体积钢的六分之一，强度却是钢的10倍，成为纳米技术研究的热点。1993年，继1989年美国斯坦福大学搬走原子团“写”下斯坦福大学英文名字、1990年美国国际商用机器公司在镍表面用36个氙原子排出“IBM”之后，中国科学院北京真空物理实验室自如地操纵原子成功写出“中国”二字，标志着我国开始在国际纳米科技领域占有一席之地。 到1999年，纳米技术逐步走向市场，全年纳米产品的营业额达到500亿美元。其中广为人知的是英特尔CPU纳米技术在材料和制备、微电子和计算机技术、医学与健康、航天和航空、环境和能源、生物技术和农产品等方面的应用，用纳米材料制作的器材重量更轻、硬度更强、寿命更长、维修费更低、设计更方便,利用纳米材料还可以制作出特定性质的材料或自然界不存在的材料，制作出生物材料和仿生材料。 纳米级加工是指加工去除量和加工精度在纳米量级（10～1nm）的加工，广泛用于超精密加工、集成电路、微细加工和微型机械的微细加工中。在常规加工方法中，除了研磨或用金刚石刀具超精密切削加工可以获得纳米级精度外,都无法达到如此高的精度。 由于纳米级加工所需去除的材料量极小,甚至工件尺寸本身也很小,因而需采用一些新的电物理、化学等特种加工方法,在基本没有宏观切削力的条件下达到加工要求,目前可用于纳米级加工的特种加工方法主要有以下几种。 1、电子束加工（Electron Beam Machining）利用高能量密度的电子束对材料进行工艺处理的一切方法统称为电子束加工。包括电子束焊接、打孔、表面处理、熔炼、镀膜、物理气相沉积、雕刻、铣切、切割以及电子束曝光等，其中电子束焊接、打孔、物理气相沉积以及电子束表面处理等在工业上的应用最为广泛。 在真空中将阴极（电子枪）不断发射出来的负电子向正极加速，并聚焦成极细的、能量密度极高的束流,高速运动的电子撞击到工件表面,动能转化为热能,使材料熔化、气化并在真空中被抽走。控制电子束的强弱和偏转方向,配合工作台的数控位移,可实现打孔、成型切割、刻蚀、焊接、表面热处理、光刻曝光等工艺。 控制电子束能量密度的大小和能量注入时间，就可以达到不同的加工目的。如只使材料局部加热就可进行电子束热处理；使材料局部熔化就可进行电子束焊接；提高电子束能量密度，是材料熔化和汽化，就可以进行打孔、切割等加工；利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理，即可进行电子束光刻加工。 电子束加工的主要特点：（1）电子束能够极其微细的聚焦，可进行微细加工，加工速度很快，能量使用率可高达90%。（2）加工材料的范围广。利用电子束几乎可以焊接任何材料，包括难熔金属（W、Mo、Ta、Nb）、活泼金属（Be、Ti、Zr、U）、超合金和陶瓷等。由于电子束能量密度高，可使任何材料瞬时熔化、汽化且机械力的作用极小，不易产生变形和应力，故能加工各种力学性能的导体、半导体和非导体材料。（3）加工在真空中进行，非接触式加工，不会产生应力和变形，并且污染少，加工表面不易被氧化。(4）电子束加工加工过程可自动化，需要整套的专用设备和真空系统，价格较贵，故在生产中受到一定程度的限制。 此外电子束焊接的焊缝位置精确可控、焊接质量高、速度快，在核、航空、火箭、电子、汽车等工业中可用作精密焊接。近年来，该技术不断发展，在大批量生产、大型零件制造以及复杂零件的