08323102黄宁江生产实习报告.docVIP

本科生实习报告书 院系专业 光信息科学与技术专业 年级班级 08级光信一班 姓 名 黄宁江 学 号 实习单位 中山大学南校区 实习时间 2011.7.4 至 2011.7.8 指导教师 江绍基等 实习 报告 实验一 镀膜实验部分 实验目的： 1.了解镀膜机原理 2.了解镀膜机的结构及设备各部分的功能 3.了解镀膜过程和膜检测技术 一、光学真空镀膜机原理： 冷却系统由加压泵、风冷水循环系统等组成。它主要是对扩散泵及蒸发系统和真空室进行冷却。当机器需要进行高真空工作时必须先开启冷却系统，以保证扩散泵的油蒸汽得到足够的冷却从而获得高真空。 Ⅰ.真空系统： 真空系统是由机械泵、扩散泵、储气桶以及真空室（钟罩）等组成。它是用来获得必要的真空度，使膜料的分子或原子蒸镀到被镀零件表面的距离小于其平均自由程，保证膜料的分子或原子在蒸镀到被镀零件的表面之前免受残余气体或散乱蒸发分子的碰撞而改变运动方向，保持较大的动能，并有效的抑制蒸发材料与残余气体的反应，从而得到牢固、纯洁的薄膜。真空度和平均自由程的关系可由（１）、（２）式给出： N1/N0=1-ed/L （1） L≈2/(3p) （2） 其中：N0是初始被蒸发物质分子总数，N1是在到达基片的途中与残余气体分子发生碰撞的分子数，L是平均自由程，d是蒸发源到基片的距离，P是残余气压。 要达到较高的真空度通常是采用多级泵串连的方式来实现的。初级泵由机械泵来组成，用于抽低真空。二级泵由扩散泵组成，用于抽中高真空。（其它还有分子泵或冷凝泵等组成，用于抽高真空。） DMDE－450光学多层镀膜机的真空系统原理图如图一所示： 图一 DMDE－450光学多层镀膜机的真空系统原理图 1、电离规管 2、高真空蝶阀GI－200C型 3、挡油器DY－200B 4、凸腔式油扩散泵KT－200 5、机械泵2XZ－8型 6、低真空磁力阀DC－30型 7、储气桶 8、低真空三通阀DS－30型 9、磁力充气阀CQF－8型 10、热偶规管 11、钟罩 12、针型阀8F－8S型 由图一可知，DMDE－450光学多层镀膜机的真空系统主要是由初级机械泵和二级扩散泵组成。电离规管及热偶规管用于测量真空室的高低真空度及扩散泵的前级真空度。并通过真空计来读取真空度。磁力充气阀用于对真空室充气，其与高真空蝶阀互锁。当三通阀抽出时，机械泵对钟罩抽气，高阀关闭（处于图中的水平位置），扩散泵处于预热状态（一般预热45分钟），气体经由图一9、10处的管道到机械泵被排出。当三通阀推进时，机械泵对系统抽气。高阀打开（处于图中的竖直位置），气体从扩散泵抽到储气桶，经过三通阀到机械泵，再排出室外。 Ⅱ.蒸发系统： 蒸发系统是将膜料蒸发，以原子或分子的形式淀积在被镀器件的表面，形成薄膜。按照工作原理可以将蒸发系统分为三种：热蒸发、溅射和离子镀。为了能够得到更好的高质量的薄膜器件，在蒸发时常用到离子源来辅助膜料的淀积使膜层结构更致密。结合我们实验室的仪器条件，主要介绍热蒸发和离子源。 热蒸发是一种发展较早、应用最广的蒸发方法，当材料被加热的时候，其原子就会从表面逸出，这种现象叫热蒸发。热蒸发的方式主要有电阻加热，电子束加热，高频感应加热和激光加热，我们常用的是电阻加热和电子束加热。 电阻加热是一种最简单、最常用的方法，它是利用高熔点的材料（如钼，钨等）做加热器。它相当于一个电阻，通电后产生焦耳热，达到蒸发膜料的温度1000～2000摄氏度。 电子束蒸发是将高速运动的电子流在磁场中聚集成细束轰击到被镀材料的表面，电子束的动能转换成热能，使材料迅速升温而蒸发，达到的温度高达3000～6000摄氏度。产生电子束的仪器叫电子枪，分为直式（皮尔斯枪）、环形枪（电偏转）、e形枪（磁偏转）、L形枪（电偏转）。 以e形枪（见图二）为例介绍电子枪的结构： 阴极在接通直流电压后,K发热产生电子，电子在有孔阳极LA的加速电压下加速，经过小孔进入磁场，高速运动的电子束在磁场中受到洛伦兹力的作用而改变运动方向（见图三），通过调整磁场的大小可以控制电子束打在阳极A上的落点位置，阳极A在真空室中是由装有膜料的坩埚组成。 图二 电子枪工作原理图 UH heating voltage （加热电压） A anode（阳极）