发布2015讲义第六章压电传感器.ppt

* 第六章 压电传感器 定义: 利用介质压电效应实现非电量测量的传感器. 压电效应:某些介质,在外力作用下变形,两表面产生符号相反的表面电荷,除去外力后,恢复不带电状态,这种现象叫压电效应. 特点:可逆性.正压电效应:加力 带电 逆压电效应:加电场 变形 注意与压租效应的区别  1.压电方程 压电效应是机械力与电学量之间的耦合效应 机械力 电学量 应力T 应变S 场强E 电位移D 压电方程是将其中任意两个一组力学,电学量为自变量来表示另外两个力学,电学量的方程. 其组合方式有: TE SD d型压电方程 TD SE g型压电方程 SE TD e型压电方程 SD TE h型压电方程 以TE→SD为例： 应力、场强与应变、电位移的关系 应变=柔性常数×应力+压电应变常数×电场强度 电位移=压电应变常数×应力+介电常数×场强 其中，i j =1，2，3 h k=1，2，‥‥6 从方程中可以找到相互关系 例如压电关系 共有的压电系数矩阵： 对于石英： 对于陶瓷： 锆钛酸铅：应用广泛，压电系数大 以石英为例： 正六面体 光轴ZZ 电轴XX 经棱线 机械轴YY 垂直于晶面 2.机理 切型表示方法 ①AT，CT，DT ②国际无线电工程师协会规定： 由坐标及切片尺寸 及旋转角度表示 坐标：x、y、z 切片尺寸：t、l、w 旋转角度：Φ、θ、φ 实际应用中的切割方位（切型）问题 切型与符号 参阅《压电石英晶体》 秦自楷等编 国防工业出版社 例如：x切型 (x y t l w) 40°/30°/15° x：厚度取向 y：长度取向 ②压电陶瓷：人工、多晶压电材料 没有极化 原始状态 处理 （加电） 处理后 极化方向 + + + + + + 极化方向 - - - - - - + + + + + + + - - - - - - - 测不出 间距变小，极化强度变小。电荷被释放，反之亦然。 加压 3. 等效电路和测量电路 实际上，压电器件是一个电荷发生器。 电容量： 电容器（两极极聚集异性电荷，中间为绝缘体） A：极板面积（m2） t：晶体厚度 m ε:介电常数 F/m + + + + + + + - - - - - - - q － | U 电荷源 电压源 与放大器：测量仪联接 输入阻抗、输入电容、电缆（导线电容） | q Cd Cc Ci Rd Ri 绝缘电容 电缆电容 电荷等效 电压等效 测量电路: 高增益深度负反馈放大器 电荷放大：要求:使电荷不分流. 因此,放大器输入阻抗很高. 电压放大器： 注:测量需要电或电荷保持. 因此要求电荷无漏损,外电路负载无穷大. 否则放电. 实际:不可能没有漏损,不可能无穷大 不可能长期保持. 因此,只有外部以较高频率不断作用,电荷才能补充 ∴不适宜静态测量. 应用 石英晶体谐振式温度传感器 质量块 剪切力 ？温度系数的要求 大 稳频要求 小 区别 原理：晶体谐振频率随被测量而变化 加上激励电压信号 ，（逆效应）晶体按固有共振频率产生振动 极板产生交变电荷 温度 改变共振频率 压电加速度传感器 汞蒸汽探测器 液体密度计 机理：振动频率 随质量而变化 探测： 原理：吸附作用改变质量 构造：做涂层 作用是吸附气体，改变质量 对汞气：沉积金膜 吸收汞 质量改变共振频率 空心音叉 电压放大器测量 令 当 结论：与电缆电容有关，与电缆长度有关 电荷放大器（深度负反馈高增益放大器） 等效： 可求出： * * * *