20131115数据分析.doc

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2017-02-16 发布于重庆
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20131115数据分析

2013.11.02AFM测量结果---------Si（111）第一部分 2D测量结果图i-1 能量为1KeV、束流密度为1.3uA/cm2的O2离子束垂直辐射Si（111）表面，辐射剂量为1.34×10^17cmˉ2的AFM测量结果，测量范围（a）,（b）,（c）皆为1um×1um。图i-2 能量为1KeV、束流密度为1.3uA/cm2的Ar离子束垂直辐射Si（111）表面，辐射剂量为1.34×10^17cmˉ2的AFM测量结果，测量范围（a）,（b）,（c）皆为1um×1um。图i-3 能量为1KeV、束流密度为1.3uA/cm2的Ar离子束垂直辐射Si（111）表面，辐射剂量为1.34×10^17cmˉ2的AFM测量结果，测量范围（a）,（b）,（c）皆为1um×1um。图i-4 能量为1KeV、束流密度为1.3uA/cm2的Ar离子束垂直辐射Si（111）表面，辐射剂量为1.34×10^17cmˉ2的AFM测量结果，测量范围（a）,（b）,（c）皆为1um×1um。图i-5 能量为1KeV、束流密度为1.3uA/cm2的Ar离子束垂直辐射Si（111）表面，辐射剂量为1.34×10^17cmˉ2的AFM测量结果，测量范围（a）,（b）,（c）皆为1um×1um。图i-6 能量为1KeV、束流密度为1.3uA/cm2的Ar离子束垂直辐射Si（111）表面，辐射剂量为1.34×10^17cmˉ2的AFM测量结果，测量范围（a）,（b）,（c）皆为1um×1um。第二部分 3D测量结果 (A) (B) (C) (D) (E) (F) (G) (H) (I) (J) (K) 图i-6 （A）~（E）分别为图i-2（a）~（e）对应的3D原子力显微镜（AFM）测量结果，其区域内包含纳米峰的个数分别为（A）91个(min height 1.8nm)（B）24个(min height 1.5)（C）75个(min height 1.6nm)（D)3个（min height 15nm）（E）3个（min height 15nm）(F)7个（min height 15nm) (G)10个（min height 8nm）（I) 32个（min height 5nm） (J)43个（min height 50nm） (K)34个（min height 50nm） (1) (2) (5) (6) （7）（8）（9） (A) （B) 图i-6 （A),(B)为图i-2（a）,(b)对应的3D原子力显微镜（AFM）测量结果，其区域内包含纳米峰的个数为（A）3个(min height 3nm) (B)30个（min height 3.2nm）（2） (A) (B) (C) (D) (E) 图i-6 （A）~（E）分别为图i-2（a）~（e）对应的3D原子力显微镜（AFM）测量结果，其区域内包含纳米峰的个数分别为（A）37个（min height 1.3nm）（B）51个（min height 10nm）（C）53个（min height 6nm）（D)46个（min height 8nm）（E）49个（min height 8nm）（1）（2）（4）（5） (A) 图i-6 （A）为图i-2（a）对应的3D原子力显微镜（AFM）测量结果，其区域内包含纳米峰的个数分别为（A）124个（min height 50nm）（1） (A) (B) (C) (D) 图i-6 （A