利用纳米压印技术构筑图案化微纳结构.docVIP

河南大学 硕士学位论文 利用纳米压印技术构筑图案化微纳结构 姓名：丁万勇 申请学位级别：硕士 专业：凝聚态物理 指导教师：杜祖亮;戴树玺  中文摘要 大规模集成电路技术的进一步发展需要开发新一代的刻蚀技术，但传统的光刻 技术即将接近其技术极限，因此研究和开发高分辨率加工能力的纳米加工技术迫在 眉睫。纳米压印技术是华裔科学家美国普林斯顿大学周郁在??年首先提出的， 速度快、环节少、成本低，被认为是下一代微纳结构刻蚀技术之一。本文首先探究 了纳米压印技术的条件；然后利用在荷叶表面沉积镀膜的方法制备得到压印模板从 而进行压印；同时利用聚二甲基硅氧烷的特殊性质复制图案化的表面结构制备软模 板，并进行了压印研究。本文主要分为以下几个部分： 在第二章中，我们制备了聚苯乙烯??并对其进行了表征；利用原子力测量 在不同的旋涂速度下聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯???阻挡层的厚度及表面 水性质；通过实验发现荷叶不适宜直接作为压印模板，于是我们利用离子束溅射的 方法在荷叶的表面沉积无机膜??⒐璧?增加荷叶微纳结构的强度，由于镀膜后 仍保留了荷叶原来的微突结构，所以膜的表面仍然具有疏水性质，适合作为压印模 板使用；最后进行了压印研究。 在第四章中，我们通过复制原始模板?馀獭⒐庹そ峁沟?的图案化表面结构 和生物表面结构制备聚二甲基硅氧烷???压印模板；对利用旋涂的方法在硅 片及其他基底上旋涂成膜的氧化锌纳米溶胶进行压印，从而得到构筑图案化微纳结 构氧化锌薄膜。该方法同样适合其他具有规则结构表面的复制和转印，扩展了纳米 压印的应用领域。 关键词：纳米压印技术、聚苯乙烯??、聚甲基丙烯酸甲酯???、荷叶、 聚二甲基硅氧烷???  ? ????? ????? ?????，????瑃? ???．?????琓? ????? ??????? ????? ?也??—????? ??????????? ?????瑃? ????? ????? ????? ??????? ????? ????．????????? ??????????? ?????，???????? ??? ??? ????????甌? ??． ? ????????? ??? ?? ???．? ??? ??? ????? ????? ????． ????琲??? ????? ?? ?????????? ???????瓼??? ????? ????? ??   硐删说餮蒜◆ 学位获得者??宦畚淖髡?鍪名： 学位论文指导教师釜  §??引言 纳米科学与技术????? 的重要内容之??】，被认为是?世纪中对人类最重要、最有影响力的科学技术之 一。它是高度交叉的综合性学科，主要包括纳米体系物理学、纳米化学、纳米材料 ? ??之间，一般来说，纳米科学是研究纳米尺度范畴内原子、分子和其他类 型物质运动和变化的科学，而在同样尺度范围内对原子、分子等进行操纵和加工的 技术则为纳米技术。纳米科技的深刻内涵不仅是尺度的纳米化，而是纳米科技使人 正是由于广阔的应用前景，纳米科学与技术目前在全世界范围内受到极大的关 注，飞速地发展着。人们对各种新型纳米材料和行将取代当前微电子产品的纳电子 ??，现行的微电 子时代在?年后势必发展成纳电子时代???鞘币缘サ缱泳?骞???????? ???? ???⒁┪锎?涞确矫娴玫焦惴河τ肹?? 料学领域，纳来材料具有许多奇异特性，如量子效应，尺寸效应，使其在众多方面 白春礼院士曾经说过，纳米时代是否到来的重要标志是纳米器件本身的研制水 和成熟。目前制备纳米材料和纳米结构的方法可以归结为两大类：第一种是自下而 上式。该方法是通过汇聚和堆积尺度较小的原子或者分子来制备出更大的微结构， 或者借助原子力显微镜来移动单个纳米粒子、纳米管、纳米线，使其构筑成特定的  河南大学凝聚态物理专业??级硕士学位论文??．? 纳米结构，但是目前这种方法只适合实验性的单个器件的研究，很难实现工业化。 另外一种是自上而下式。该方法通过刻蚀或者消减大尺寸的材料形成纳米级微结 构，这种方法制作的最小图形尺寸受光刻系统分辨率的限制。为了提高光刻系统分 辨率以制作更小特征尺寸的图形，各种光子刻蚀技术和投影式粒子束刻蚀技术采用 传统刻蚀技术的加工模式，不断地减小曝光光源的波长。 目前，传统的具备高分辨率加工能力的纳米加工技术主要包括：极紫外光刻 ???、电子束光亥???、?湎吖夂????⒗胱邮?队肮夂????⒒?赟? ??波长的软?湎?的理论分辨率 ??，同时可支持???集成电路产品的生产，被认为是? 竞争力的新一代曝光技术，但光学系统和掩膜版的制备工艺复杂以及高成本是这一 类技术应用的瓶颈。基于投影式曝光的电子束刻蚀技术具有高分辨率、大焦深的优 点，与直写式