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课程介绍

课程介绍 电子科学与技术专业的一门必修基础课 基础物理 晶格结构、能带理论 半导体材料物理 平衡与非平衡载流子的输运(统计分布、散射和电导问题) 半导体器件物理 pn结、金属与半导体的接触、MOS场效应晶体管等 半导体器件基础 光子器件、功率半导体器件 课程要求 半导体物理 目的:掌握半导体的基本结构、电子状态以及平衡与非平衡载流子的输运 Ch1. 半导体中电子的状态 固体材料 半导体材料大多是单晶体(即是由很多靠得很近的原子周期性重复排列而成),因此半导体中的电子状态肯定与单个原子中的电子状态不同,特别是外层电子。 电子的共有化运动:当原子相互接近形成晶体时,不同原子的内外各电子壳层之间就有了一定程度的交叠,相邻原子最外壳层的交叠最多,内壳层交叠较少。原子组成晶体后,由于电子壳层的交叠,电子不再完全局限在某一个原子上,可以由一个原子转移到相邻的原子上去,因而,电子将可以在整个晶体中运动,这种运动就称为电子的共有化运动。 能级分裂:当原子周期性排列形成晶体互相靠近时,每个原子中的电子除了受到本身原子势场及其它电子作用外,还要受到其它原子势场及其它大量电子的作用,其结果是每一个能级都分裂为很多彼此相距很近的能级,形成能带 能带的划分:满带、半满带、空带 (按电子的填充情况来划分) 导电机制:固体材料可以按其导电性分为导体、半导体和绝缘体,其能带图分别为: 禁带宽度Eg=Ec-Ev,其中Ec和Ev分别为导带(conduction band)底和价带(value band)顶对应的能量 绝缘体:禁带宽度很大(6-7ev),激发电子需要很大的能量,在通常温度下,能激发导导带上的电子很少,因此导电性能差 本征激发: 价带上的电子激发到导带上成为导电电子的过程 激发能量来源:温度升高或者光照,仍属于热激发 微观粒子(如电子)具有波粒二象性 粒子性:质量为m、以速度v自由运动的电子,其动量和能量分别表示为: 波动性:de Broglie指出,这个自由粒子可以用频率为 波长为 的平面波表示为: 假设电子受到外力f的作用,在dt时间内位移为ds=vdt,则外力对电子做的功等于电子能量的变化,即 能带理论 用单电子近似的方法研究晶体中电子状态的理论 在实际问题中,尽管采用单电子近似,要求解E(k)的具体表达式给出定量关系还是非常困难的。但是,对于半导体来说,起作用的往往是接近于导带底部和价带顶部的电子,因此,只需考察能带极值附近的E(k)就可以了 设极值在k=k0处,即 ,将E(k)在k0处展开 有效质量的意义: 半导体中的电子不光受到外力f的作用,同时它还要受到内部原子核其它大量电子共同形成的势场力的作用,而要找出这些内部势场力的具体形式非常困难,因此,引入有效质量后问题变得简单,可以直接写成自由电子的形式 有效质量的特性 导带底: 价带顶: 三维情况: 各向异性: Ex: 1, 2 * xiongjint@电信楼群5-205 /~xj 晶格结构和电子状态(6) 杂质和缺陷(6) 载流子的热平衡统计分布(8) 载流子的散射和电导问题(6) 非平衡载流子(8) 目的:介绍半导体中的电子状态及其运动规律 ① 晶格结构,原子能级,晶体能带,导电机制 ② 电子的速度,加速度以及有效质量,能带理论 ① ② 非晶体: 晶体: 由原子(分子或离子)按照一定规律周期排列而成,有规则的几何形状和对称性。 (结构的周期性是晶体的基本特征) 晶体 多晶体: 单晶体: 由大量很小的晶粒组成的,在每个晶粒中原子的排列是规则的 整块材料都是由原子有规律的、周期性的排列而成,具有完整的、可重复的晶体结构 晶格:原子排列的具体形式,也称为空间点阵。 格点:一种原子或者多种原子(基元重心) 原胞:晶格的最小周期性单元。原胞的选取不唯一,但实际上各种晶格结构已有习惯的原胞选取方式。 原胞基矢:原胞的边矢量(a1,a2,a3) 晶格 格点 原胞 原胞基矢 a1 a2 a1 a2 a3 晶列:格点可以看成分列在一系列相互平行的直线系上,这些直线系称为晶列。 晶向:同一个格子可以形成不同方向的晶列,每一个晶列定义了一个方向,成为晶向。 晶向指数:一个原子沿晶向到最近的原子的位移矢量为l1a1+l2a2+l3a3,则晶向用[l1,l2,l3]标记,l1,l2,l3称为晶向指数。 a1 a2 a3 0 立方边:[100]、[001]、[010]及相反方向,共6个 面对角线:[1,1,0]、[1,0,1]、 [0,1,1]、 [-1,1,0]、[1,0,-1]、[0,1,-1]及相反方向,共12个 体对角线:[1,1,1]、[1,1,-1]、[-1,1,1]、[-1,1,-1]及相反方向共8个

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