第五章压电式传感器.docVIP

第四节、压电式传感器例题 例5一只压电式加速度计，供它专用的电缆的长度为m，电缆电容为1pF，压电片本身的电容为1pF。出厂时标定的电压灵敏度为100Vg(g=9.8m/s2度)，若使用中改用另一根长2.9m的电缆，其电容量为3pF，问电压灵敏度如何改变? 例5题图压电加速度计等效电路解将压电式加速度计用电压源来等效，不考虑其泄漏电阻，等效电路如图1.83所示输出电压为 式中Ca为压电片本身的电容，Cc为电缆电容。 当电缆电容变为Cc’时，输出电压将变为 在线性范围内，压电式加速度计的灵敏度与输出电压成正比，所以更换电缆后灵敏度变为 例6一只切型的石英晶体压电元件，其dl12.31×10－12C/N，相对介电常数r=4.5，横截面积A=5m2，厚度h=0.5m。求(1)、纵向受F=9.8N的压力作用时压电片两电极间输出电压值为多大? (2)若此元件与高输入阻抗运放连接时连接电缆的电容为Cc=4pF，该压电元件的输出电压值为多大? 解(1)、所谓纵向受力，是指作用力沿石英晶体的电轴方向(即轴方向)。对于切型的石英晶体压电元件，纵向受力时，在方向产生的电荷量为 qx=dl1×Fx=2.31×10－12 C/N×9.8N =22.6×10－12C=22.6pC 压电元件的电容量为Ca=εoεrA/h=8.85×10－12 F/m×4.5×5×10－4 m2/0.5×10－2 m =3.98×10－12F=3.98pF 所以两电极间的输出电压值为U0=qx/Ca=22.6×10－12 C/3.98×10－12F=5.68V (2)、此元件与高输入阻抗运放连接时，连接电缆的电容与压电元件本身的电容相并联输出电压将改变为 U0=qx/（Ca+Cc）=22.6×10－12C/（3.98×10－12F+4×10－12F）=2.83V 例7压电式传感器的测量电路如图1.84所示，其中压电片固有电容Ca=1pF，固有电阻Ra=1014连线电缆电容Cc=3pF，反馈电容C=100pF，反馈电阻R=1MΩ。 (1)推导输出电压U。的表达式。 (2)当运放开环放大倍数A=l04时，求系统的测量误差为多大? (3)该测量系统的下限截止频率为多大? 图1.84压电式传感器测量电路 图1. 85压电式传感器测量电路的电流源等效电路解(1)、根据密勒定理，将R和C折合到运放输入端，其等效电阻R=Rf(1+A0)， 等效电容C(1+A0)Cf。如图1.85(a)所示。为了方便，压电元件采用电压源的形式，再等效成图1.85(b)所示的电路形式，图中Z表示虚线框内元件的等效阻抗。假设运放反相端的电压为，可得Rf=(1+A0) Rf; Cf＝(1+A0)Cf Ui=UaZ/(Z+1/jωCa)=(q/Ca)×[jωCa/(jωCa+1/Z)] ＝jω×q/(jωCa+jωCc+ jωCf+1/Ra+1/Rf’) ＝jω×q/{jω[Ca+Cc+(1+A0)Cf]+1/Ra+(1+A0}/Rf} 图1. 85压电式传感器测量电路的电压源等效电路因此测量电路的输出为 一般来说，运放的开环放大倍数A在以108之间，根据所给条件，分母上的第三项为第二项的101016倍，所以忽略分母上的第二项不会导致测量误差，得当满足ω[Ca+Ce+(l+A)Cf](l+A0)Rf，即被测信号的频率远远大于系统的下限截止频率时，分母上的(l+A)Rf也可以忽略，得 此时测量电路的输出与被测信号的频率无关。 若还能满足(l+A)CfCa+Ce,则可进一步忽略分母上的Ca、Ce得 当A→∞时，上式可写成’=-q/Cf (2)、由于A实际上不为无穷大，忽略Ca、Ce可能导致测量误差，误差的大小为=∣(U0- U0’)/U0’)∣=∣{-qA0/[Ca+Cc+(1+A0)Cf]+q/Cf}/(-q/Cf)∣ =(Ca+Cc+Cf)/[Ca+Cc+(l+A0)Cf] =(1000+300+100)/[1000+300+1+104)100]=0.14﹪ (3)、根据上面讨论，下限截止角频率为 ωL=（1+A0）/[Ca+Cc+(l+A0)Cf]Rf 由于一般满足(l+A0)CfCa+Ce，所以下限截止角频率则为ωL=1/Cf Rf 下限截止角频率则为f=ωL/2π=1/2πCf Rf =1/（2π×100×10-12×1×106）1.59×103Hz=1.59KHz 例8有一只压电晶体，其面积S=3，厚度t = 0.3，在0度切型的纵向石英晶体压电系数d=2.31×10-12 C/N。求压电晶体受到p = 10 MPa的压力作用时产生的电荷量q及输出电压U。 解受力F = pS作用后，压电晶体产生的电荷量为 q=d11F=d11pS=2.31×10-12 C/N×10