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电容式传感器 电容式传感器 1、电容式传感器的简介 2、电容式传感器工作原理及分类 3、电容式传感器的应用 电容式传感器的简介 电容式传感器是将被测量的变化转换为电容量变化的一种传感器，它具有结构简单、分辨率高、抗过载能力大、动态特性好；且能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作。 电容式传感器可用于测量压力、位移、振动、液位、厚度。 返回 电容式传感器工作原理 C=ε.S/d=ε0. εr.S/d ε=ε0. εr C为电容 ε0=8.85×10-12F/m εr为相对介电常数 用S为极板相对覆盖面积m2 d为极板间距 电容式传感器分为变面积式、变间隙式、变介电常数式三大类，其中变面积式可分为直线位移式、角位移式；变介电常数式可分为平面介电常数式、圆筒介电常数式。 变面积式电容传感器 直线位移式 变面积式电容传感器的两个极板中， 一个是固定不动的，称为定极板， 另一个是可移动的，称为动极板。 为提高测量精度，也常用如图所示的结构形 式，以减少动极板与定极板之间的相对极距 可能变化而引起的测量误差。 返回 变面积式电容传感器 角位移式 当被测的变化量使动极板有一角位移q 时， 两极板间互相覆盖的面积被改变， 从而改变两极板间的电容量C。 在实际应用中，也采用差动结构， 以提高灵敏度。角位移测量用的差动式 结构如图所示。 返回 变介电常数式 平面介电常数式 平面式测位移传感器 测厚仪 返回 变介电常数式 圆筒介电常电介质电容器大多采用圆柱式。其基本结构如图所示，内外筒为两个同心圆筒，分别作为电容的两个极。 如图所示为一种电容式液面计的原理图。 在介电常数为ex的被测液体中， 放入该圆柱式电容器， 液体上面气体的介电常数为e， 液体浸没电极的高度就是被测量x。 液面计的输出电容C与液面高度x成线性关系。 返回 变间隙式 基本结构电容 差动式电容 与基本结构间隙式传感器相比， 差动式传感器的非线性误差减少了一个 数量级，而且提高了测量灵敏度，所以 在实际应用中被较多 采用。 返回 电容式传感器的应用 1．电容式位移传感器 采用了差动式结构。当测量杆随被测位移运动而带动活动电极位移时，导致活动电极与两个固定电极间的覆盖面积发生变化，其电容量也相应产生变化。 电容式传感器的应用 2．电容式压力传感器 该压力传感器可用于测量微小压差。 差动电容式压力传感器原理图 电容测厚仪工作原理 电容式传感器的应用 3．电容测厚仪 电容测厚仪的关键部件之一就是电容测厚传感器。在板材轧制过程中由它监测金属板材的厚度变化情况。 总结 变电容式传感器是将被测量的变化转换为电容量变化的一种传感器。它具有结构简单、分辨率高、抗过载能力大、动态特性好等优点，且能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作。 只要固定平行板电容器3个参量d、S、e 中的两个，只要另外一个参数改变，则电容量就将产生变化，所以电容式传感器可以分成3种类型：变面积式、变间隙式