电容传感器.pptx

4.7　电容式传感器 1.什么是电容器？电容器有两个用介质（固体、液体或气体）或真空隔开的电导体构成。导体上的电荷导体之间的电压差电容 2.工作原理　电容式传感器实质上是一个可变参数的电容器。由物理学可知，用绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，当忽略边缘效应时，电容量可表示为式中：ε、ε0——极板间介质和真空的介电常数(ε0=8.85×10－12 F/m)；　εr——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质εr≈1；　A——极板相互覆盖的面积；　δ——极板间的距离。3.结构类型图 (a)和(b)为变极距式； 图 (c)～(h)为变面积式； 图 (i)～(l)则为变介电常数式。一、间隙变化型 这种类型的传感器常常固定一块极板（图中极板2）而使另一块极板移动（图中极板1），从而来改变间隙δ以引起电容的变化。设间隙有一改变量Δδ，则(4.37)改写为 将上式按泰勒级数展开为： (4.38)图4.42 变间隙式电容传感器 (4.39) 当Δδ为小值时，在ΔC/C与Δδ/δ之间可近似为一线性关系。如当Δδ/δ =0.1时，按（4.39）式计算所得的线性偏差为10%，而当Δδ/δ =0.01时，该偏差降至1%，因此对小的间隙变化，式（4.39）可进一步舍去二次项，从而可得电容变化量 电容传感器的灵敏度 ： 实际应用中为提高传感器的灵敏度，常采用差动式结构。 由此可得灵敏度 (4.40)(4.41)(4.42)(4.42)二、面积变化型 图4.44 面积变化型电容传感器 采用改变电容器极板面积是另一种获取电容传感器输出变化的方法。 图中(b)为通过线性位移改变电容器极板面积的型式。当动电极在x方向有位移Δx时，极板面积的改变量将是 电容的改变量将是 其灵敏度 可见该灵敏度为一常数，因此输入、输出关系为线性。 (4.44)(4.45)(4.46) 图中(a)为转角型结构，当改变两极板间的相对转角时，两极板的相对公共面积发生变化。由图可知，该公共覆盖面积 α-公共覆盖面积对应的中心角； r-半圆形极板半径。 因此当有转角变化Δα时，电容量改变 同样得这种情况下电容器的灵敏度 (4.47)(4.48)(4.49)该灵敏度为一常数，输入与输出仍为线性关系。 图中（c）为圆柱体线位移型结构，其中圆周为固定，圆柱在其中移动。利用高斯积分可得该电容器的电容量 式中 D－圆周内径； d－圆柱外径。 两者覆盖长度x的变化为Δx时，电容变化量 其灵敏度 (4.50)(4.51)(4.52)也可将变面积型传感器做成差动型的。图4.46 中间电极移动式电容传感器（a）板式 （b）柱式 （c）柱式差动型 三种传感器优点：输入、输出线性关系；测量范围大（几个厘米）。缺点：精度低。三、介质变化型 图4.47 介质变化型传感器（a）极板上覆盖有介质 （b）介质可移动 介质变化型传感器的分类极板上覆盖有介质；介质可移动。极板上覆盖有介质 如图所示，该电容器具有两不同的电介质，其介电常数分别为εr1和εr2，其介质厚度分别为a1和a2，且a1+a2=a0。整个装置可视为由两电容器串联而成，其总电容量C由两电容器的电容C1和C2所确定，由此得 极板上覆盖有介质(4.53)(4.54) 为分析简单起见，设介质1为空气，即εr1=1，则(3.54)式变为： (4.55) 此方法可用来对不同材料如纸、塑料膜、合成纤维等的厚度进行测定。 介质可移动 这种结构相当于将两电容器作并联。此时的总电容由两部分组成：电容C1(介电常数εr1，极板面积b0(l0-l))和电容C2(介电常数εr2，极板面积b0l)。由此得： 设介质1为空气，因此εr1 =1，又设介质全部为空气的电容器的电容为C0，则C0=ε0b0l0/a0。由于介质2的插入所引起的电容C的相对变化ΔC/C0则正比于插入深度l： (4.56)(4.57)这一原理常用于对非导电液体和松散物料的液位或堆积高度的测量。 图4.48 测量非导电液或松散物料填充高度的电容传感器 测试电路 电容式传感器所测出的电容及电容变化量均很小，因此必须后接适当的放大电路将它们转换成电压、电流或频率等输出量。 运算放大器电路 将公式（3.37）代入上式可得 式中 ei——信号源电压； eo——运放输出电压； co——固定电容； cx——传感器等效电容。(4.58)图4.50 运算放大器式电路 (4.59)输出电压eo与电容传感器间隙δ成正比关系。 电桥测量电路 根据电桥平衡公式有： 其中实部有： 上式可通过调节可调电阻R1来满足，对虚部则有： 同样可通过调节可调电容器C1来实现。当电容传感器C2有变化时，则电桥相应地有输出。(4.60)(4.61)(4.62)图4.51 文氏式电容测量电桥 (4.6